Ｎｏ．１１７００－２－０４－１

制 Ｎ（：正三 鵬 榊

議醐３㎜訓脳

直結型油回転真空ポンプ

取 扱 説 明 書

型 式 名

Ｐ Ｄ － ５ ２

Ｐ Ｄ － １ ０ ２

● この 度は、 ヤマト科 学の小型油回 転真空ポンプをお買 い

上 げ い た だ き ま し て、 誠 に あ り が と う ご ざい ま す。

● 本 器 を 正 しく 使 っ て いた だ く た め に、 お 使 い の 前 に こ の

「取扱説明書」と『保 証書」をよくお読 みください。 お読み

になった後 はｒ保証 書」と ともにいつ でも使用 できる よう

に、 大 切 に保 管 し て く だ さ い。

蔓冬 生．言 口 ．取 扱説明書本 文に出てくる 重要警 告事項 の部

分は製品 を使用 する前 に注意深く 読み、 よく▲ 理 解 し て く だ さ い。

｝７ト刑 学株弍合杜

Ｏ． ま え が き

０．１ 真 空 ポ ン プ を ご 使 用 に な る 前 に

当社の 真空ポ ンプ （以下ポン ブ） をお買い上 げ頂きま して、 有り難う ございま ず。

ま ず、 お 手 元１こ届 き ま し た ら、 ポ ン プ が ご 注 文 の 内 容 と 同 一 であ る こ と、 及 び、 輸

送等１こよる破損が 無 いことをご確認下さい。

△ 警告こ の ポ ン プ を 末 永 く ご利 用 頂 く た め に、 取 り 付 け、 運 転、 点 検、 或 い は 保 守 を す る

前 に、 必 ず こ の 取 扱 説 明 書 を お 読 み 頂 き、 安 全 上 の 注 意、 こ の ポ ン プ の 仕 様、 及 び

操作方法に関わる 事項 を十分理解して下さい。

△ 留意尚、 こ の 取 扱 説 明 書 は い か な る 部 分 も、 第三 者 の 使 用 の た め に、 当 社 の 許 諾 な し に

コ ピー す る こ と は 出 来 ま せ ん。

一〇１一

０．２ 安 全 シ ン ボ ル マ ー ク

この取扱説明書及 び、 ポンブの警 告表示には守るべき事項を理 解して頂 ＜ため、 安

全 に つ い て のミノン ボ ル マ ー ク を 掲 げ て い ま す。

ミノン ボ ル マ ー ク１こ用 いて い る 言 葉 は次 のよ う に 使 い 分 け て い ま ず。

△ 危険取 扱 い を 誤っ た 場 合 に、 使 用 者 が 死 亡、 ま た は、 重 傷 を 負 う 危 険 な 状 態 が 切 迫 し て

生 じる 可能牲を示しています。

△ 警告取 扱 い を 誤 っ た 場 合 に、 使 用 者 が 死 亡、 ま た は、 重 傷 を 負 う 危 険 な 状 態 の 生 じ る 可

能 性 を 示 し て い ま す。

△ 注意取扱 いを誤った場合 に、 使用者 が軽傷、 または、 中程 度の障害 を負う危 険の 生じる

可 能 性 か、 ま た は、 物 的 損 害 の み が発 生す る 危 険 の 可 能 性 を 示 し て い ま す。

△ 留意取 扱い を誤った場 合に、 機 械の損傷 を起こ したり、 正常 な動 作を損ね る 可能性 を示

し て い ま す。

一０２一

Ｏ．３ 安 全 上 の 注 意 事 項

△ 危険有毒 及び 可燃性 ガスをポ ンプで排気する 場合、 ポ ンプの 排気口以外 にも、 ポ ンプ 本

体が ら漏れること があります。 ガスの 種類に応じた適切 な対策 を講じて下さ い。

△ 危険有毒 ガスの 排気に使用 した場合

、ポ ンプ は勿 論のこ と

、 真空 ポン プ油 （以下 ポンプ

油） も 有 毒 に な り ま す。 メ ン テ ナ ン ス 時 に は、 ご留 意 下 さ い。

△ 警告修 理 技 術 者 以 外 の 人 は、 絶 対 に 分 解 し た り 修 理 を 行 わ な い で 下 さ い。 発 火 ま た は、

異常 動作 して けがを したり、 感電する 恐れがあります。

△ 警告点 検 ・ 修 理 の 時 は、 必 ず 電 源 スイ ッ チ を切 っ て か ら 作 業 を 行 っ て 下 さ い。 感 電 し た

り、 急 に ポ ン プが 始 動 して けが を す る こ と が あ り ま す。

△ 警告アー スを確 実に接地 して下さ い。 又、 専用 の漏電遮 断機 を設置する こ とをお勧 め致

し ま す。 ア ー ス を 接 地 し な い と、 故 障 や 漏 電 の 時 に 感 電 す る 恐 れ が あ り ま す。

△ 警告破裂の 恐れ がありま す。 排気口 を塞 いだり、 排気口側 にガスの通過 を妨 害する機器

を 付 けた 状 態 で、 ポ ン プ を 運 転 し な い で 下 さ い。 ポ ン プ 内 圧 が 上 昇 し て、 ポ ン プ本

体が破 裂したり、 オイ ルレベルゲー ジが飛 び出 した り、 モータが過 負荷 になる恐れ

が あ り ま す。

こ の ポ ン プ は、 耐 圧 構 造 と な っ て お り ま せ ん。 ポ ン プ の 内 部 圧力 の 限 界 値 は、

Ｏ．０３ ＭＰａ （ゲ ー ジ 圧） です。

一０３一

△ 警告爆 発 性 雰 囲 気 で は 使 用 しな い で 下 さ い。 け が、 火 災 の 原 因 に な り ま す。

△ 注意モ ー タ の 開 口 部 に、 指 や 物 を 入 れ な い で 下 さ い。 感 電、 け が、 火 災 等 の 恐れ が あ り

ま す。

△ 注意ポ ン プ 運 転 中 に、 モ ー タ、 主 軸、 軸 継 手 な どの 回 転 部 分 に は、 絶 対 に 触 れ な い で 下

さ い。 け が の 原因 に な り ま す。

△ 注意電動機 やポン プの周 囲には、 可燃物 を絶対 に置かない で下さ い。 火災の 恐れがあ り

ま す。

また、 電動機の周 辺に通風 を妨 げるよ う な障害物を置 かな いで下さい。 異常発 熱に

よ る 火 傷、 火 災の 恐 れ があ り ま す。

△ 注意ポ ン プ運 転 中ま た は、 停 止 直 後 で ポ ン プ本 体 が 温 ま っ て い る 時 は、 電 動 機 や ポ ン プ ・

配 管 に 触れ な い で 下 さ い。 高 熱 に な っ て い ま す の で火 傷 の 原 因 に な りま す。

△ 注意配 線 工 事 は、 電 気 設 備 技 術 基 準 や 内 線 規 定 に 従 っ て、 正 し く 行 っ て 下 さ い。 誤 っ た

配 線 工 事 は、 火災 の 原 因と な り ま す。

△ 注意動 か な く な っ た り、 異 常 が あ る 場 合 は、 事 故 防 止 のた め す ぐ に 電 源 スイ ッ チ を切 り、

ご注文先、 若 しく は当 社に必 ず点検修理 をご依頼下さい。

△ 留意ポンプにポン プ油 を入 れない状 態で運転 しないで下さい。 ポ ンプが壊れます。

一０４一

Ｏ．４ ポ ン プの 受 入 と 保 管

０．

４．

１ ポ ンプの受入

細 心 の 注 意 を 払 って 出 荷 し て お り ま ず が、 念 の ため、 荷 造 り を 解 か れ ま し た

ら、 次 の こ と をお 確 か め 下 さ い。

（１）ご請求の 製品と■ 致してい るか。

（２）付 属 晶（ポ ン プ 油１ 回 分、 オ ブミノヨ ン 部 品）は、 所 定 晶 が 付 い て い る か。

（３）輸 送中１こ破損した箇所が 無い か。

（４）輸 送 中 に ネ ジや ナ ツ ト 等 の 緩 み が 出 て い ない か。 外 れて い る 所 は無 い か。

万一不具 合がありま したら、 ご注文先、 また は当社営業部ま でご連絡下さ い。

Ｏ．４．２ 保 管、 据 え 付 け及 び、 運 転 時 周 囲 条 件

こ の ポ ン ブ は、 精 密 な ク リ ア ラ＝ソブ を も つ 機 械 でず か ら、 保 管、 据 え 付 け 及

び、 運 転 時１こ は、 次 の こ と を 満 足 ず る よ う１こし て 下 さ い。

①運転時温度及 び湿度１ ７℃～４０℃ ８５％ＲＨ以下

② 保 管 時 及 び、 運 転日寺標 高 ： １０００ｍ以 下

③その他 （保管時 運転時共）

ａ． 腐 蝕 性 及 び、 爆 発 性 ガ フ の 無 い こ と。

ｂ． 結 露 の 無 い こ と。

Ｃ． 塵 挨 の 無 い こ と。

ｄ．

屋 内 で あ る こ と。

ｅ． ポ ン ブ の 二 段 積 み や横 倒 し は し な い こ と。

ｆ． 直 射 日 光 が 当 た ら な い こ と。

ｇ． 熱 源 か ら 遠 ざ け る こ と。

△ 留意ポ ン プ に 衝 撃 を与 えた り、 横倒 し に し な い で下 さ い。 ポ ン プに 障 害 を 与 え ま す。

一０５一

０．５ 保 護 装 置

こ の ポ ン プ１こ は、 単 相 １００Ｖ ５０／６０Ｈｚ用 の モ ー タ が 付 い て い ま ず。

この二Ｅ一タに は、 過負荷保護 装置 （手動復帰型 のサーマ ルブロテクタ ー） が 内蔵 さ

れ て いま す。

過負荷保護装置以外 の保護装置 （漏 電遮断器等） も併設ず ることを推 奨しま ず。

△ 留意モータ の定格電圧 以外で使用 しな いで下 さい。 過負荷保護 装置 が正常に作動 せず、

モ ー タ の 焼 損、 火 災 の 原 因 と な りま す。

一０６一

１． 安 全 に お 使 い い た だ く た め に

１．１ 製品固有の危険性と安全 対策

ポンブの運転また は点検 を行う前 に、 この項目を良＜お読み になり、 潜 在ず る危 険

や回避の方法につ いて十分王里解 して から作業を行って下さい。

１．１．１ ∠』 危 険

要因

危険ガス、 危 険物質の漏洩

回 避 方 法 ・ 対 策

有毒および可燃ガスの漏洩 ⇒ ポンブの吸 気口１こ八る前に・ 危 険 ガプを安全

な 濃 度ま で 希 釈 し て 下 さ い。

ポ ン プ内 部 で有 毒 に な っ た

ポ ン プ油、 ま た は ポ ン プ に

付 着 した 有 害物 質 を 点 検 ・

廃 棄 時 に 触 って 負 傷 す る

⇒ ①使用ずる 有毒物質に適した保 護具を看 用し

て、 点 検 等 の 作 業 を 行 っ て 下 さ い。

②分解修理、 廃棄の時１こは、 廃 棄物処理 の専

門業者１こ依頼して無害化処理 を行って 下さ

い 。

③廃棄は、 行政の 認可を受 けた廃棄 物処理業

者 に 委 託 して 下 さ い。

１．１．２ ∠㌧ 警 告 感 電

要因 回 避 方 法 ・ 対 策

モータ通電部に触れて感電

する

⇒ ①電気結線は、 必 ず電源を切 って から行って

下 さ い。 ア ー フ は、 必 ず 取 っ て 下 さ い。

②点検 移設の 際１こは、 必 ず電源 を切 って作

業 し て 下 さ い。

③二Ｅ一 タ の 開 口 部 か ら、 手 や 指 ま た は、 細 い

棒 な ど を 入 れ な い で 下さ い。

一１一

１．１．３ ∠込 警 告 破 裂

要因 回 避 方 法 ・ 対 策

ポンプ内部圧力が上昇し

て、 ポ ン プ が破 裂す る

⇒ この ポンブの内部圧カの限界値 はＯ－０３ＭＰａ

（ゲ ーミゾ圧） で ず。

ポ ン プ の 排 気 側 の 圧 カ を 測 定 し て０．０３ＭＰａ（ゲ

ージ 圧） 以 上ならば、 排気口側の ガフの通 過

を 妨 げ て い る も の を 取 り 除 い て 下 さ い。 オ イ

ル ミ ブ トト ラ ツ ブ を ご 使用 の 場 合 は、 交 換 ま

たは洗 浄を行ってガブの通過の 抵抗にな らな

い よ う に して 下 さ い。

１．１．４ ∠Ｌ 注 意 高 温

要因 回 避 方 法 ・ 対 策

高温で火傷をする ⇒ ①運転 時ポンプは高温になりまず。

ポ ン ブ 本 体 → ５０～８０℃

＝Ｅ 一タ 部 → ４０～８０℃

②表面温度が 高温のため、 手などの偶 発的な

接触１こよ り火傷の危 険性が 有りまず。 運転

中 は、 ポ ン ブ１こ触 ら な い で 下 さ い。

点検作業 は、 ポンブ停止後、 温度が 十分に

下 が っ て か ら 行 って 下さ い。

一２一

ｉ．２ 化 学物質 安全データ シート（ＭＳＤＳ）

この ポンブを運転ずる上で、 使 用ま たは、 触る可能性のある化学物 質 を紹介 して い

ま ず。 ＭＳＤＳに 記 載 さ れ て い る 有 害 特 性 を王里解 して 頂 ＜ た め１こ、 良 ＜ 読 ん で下 さ い。

この取 扱説明書１こ言己載されてい る化学 物質 （真空ポンブ油） 以外の 化学物質を ご使

用１こな る 場合 は、 別 途 お間 い 合 わ せ 下 さ い。

△ 注意ＭＳＤＳは、 危 険有害な化学物質 につい て、 安全 な取扱い を確保するた め の参考惰 報と

して、 提 示 する も の で す。 ポ ン プ 油 を 取 り 扱 う 方 は、 こ れ を 参 考 と し て、 自 ら の 責

任 にお いて、 個々 の取扱い等 の実態 に応 じた適切な処置 を講ずるこ と が必要で ある

こ と を 理 解 し た 上 で、 活用 さ れ る よ う お 願し１しま す。 従 っ て、 こ のＭＳＤＳそ の も の は、

安全 の保証 書ではありません。

一３一

目 次

０． ま え が き

Ｏ．１ ご使 用 に なる 前 に

０．２ 安 全 シ ン ボ ルマ ーク

Ｏ．３ 安全 上 の 注 意 事 項

０．４ ポ ン プ の 受 入 と 保 管

Ｏ．４．１ ポ ン プ の 受 入

０．４．２ 保 管、 据 え 付 け及 び、 運 転 時 周 囲 条 件

０．５ 保 護 装 置

１． 安 全 に お 使 い いた だく た め に

１．１ 製品固 有の危 険性と安全対策

１．１．１ ∠Ｌ 危 険 危 険 ガ ス、 危 険 物 質 の 漏 洩

１．１．２ ∠㌧ 書 告 感 電

１．１．３∠㌧ 警 告 破裂

１．１．４ ∠」 注 意 高 温

１．２ 化学物 質安全データシー ト （ＭＳＤＳ）

２． ポ ン プ概 要

２．１ 性 能 諸 元

２．２ 寸 法 図

３． 取 付

３．１ 据 付

３．２ 注 油

３．３ 真 空 配 管

３．４ 電気 結 線

３．４．１ 単 相 モ ー タ 仕 様 の 場 合

３．５ 電源 電圧及び周波数の変動

０１

０１

０２

０３

０５

０５

０５

０６

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ７

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ７

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ７

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ９

・ ・ ・ ・ ・ ・ … １ ０

・ ・ ・ ・ ・ ・ … １ ０

・ ・ ・ ・ ・ ・ … １ １

目 次一１

４． 運

４．１

４．

２

４．

３

４．

４

４．５

４．６

４．

７

４．８

転

運 転上 の注意点

運転開始

運転停止

寒冷時の 運転

逆流防止機構

ガスバラス トバルブ

オ イ ル ミ ス ト トラ ッ プ （オ プ シ ョ ン） の 取 付 け

オイ ルミスト トラ ップ取付時の運転制 限

１１

１１

１２

１２

１３

１３

１４

１５

１５

５． ポ ン プ 性 能

５．１ 到 達 圧 力

５，２ 排 気 速 度

５．３ 所 要 動 力

１６

１６

１６

１６

６． 保 全 ・ 点 検 ・ 修 理

６．１

６．２

６．

３

６．

４

６．

５

保全

定期点検

ポ ンプ油の交 換

カ ップリン グの スパイ ダー交換

トラ ブ ル チ ェ ッ ク リ ス ト

１７

１７

１７

１９

２１

２２

７．

廃 棄 ・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ４

８． 保 証 条 項 ・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ４

９． 分解修 理時主要交 換部品

９．１ 主 要 交 換 部 品 一 覧 表

９．２ 分 解 図

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ５

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ５

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ７

化学物質 安全データシー ト （ＭＳＤＳ）

使用 状況 チェ ックシー ト （分解修理依 頼の場合 使用）

営 業，サ ー ビ ス 部 門 と そ の 連 絡 先

目 次一２

図表一覧表

図１． ＰＤ－５２ 油 回 転 真 空 ポ ン プ寸 法 図

図２． ＰＤ－１０２ 油 回 転 真 空 ポ ン プ寸 法 図

図３． 油 回 転 真 空 ポ ン プ ヘ の 注 油（ＰＤ－５２）

図４． 油 回 転 真 空 ポ ン プ ヘ の 注 油（ＰＤ－１０２）

図５． 真空室 と基本的 な配 管接続 図

図６． カ ッ プ リ ン グの ス パ イ ダ ー 交 換

図７． ＰＤ－５２油 回 転 真 空 ポ ン プ分 解 図

図８， ＰＯ－１０２油 回 転 真 空 ポ ン プ 分 解 図

５

６

８

８

９

２１

２７

２８

表１． 性 能 諸 元

表２． 定 期 点 検 表

表３． ト ラ ブ ル チ ェ ッ ク リ ス ト

表４． 交 換 部 品 一 覧 表（ＰＤ－５２）

表５． 交 換 部 品 一 覧 表（ＰＤ－１０２）

別表． 化学物質安 全データシート （ＭＳＤＳ）

・ ・ … ． … ４

・ ・ ・ ・ ・ ・ … １ ８

・ … ． ・ … ２ ２

・ … ． ・ ■ ・ ． ２ ５

・ ・ ・ ・ ・ ・ … ２ ６

目 次一３

２． ポ ン プ の 概 要

２．１ 性 能 諸 元

この油 回転真空ポン ブは、 回転翼 型 （以 下グーデ型） のポンブでず。 駆動 方 式は モ

ー タ 直結 式 で す。 こ の ポ ン ブ は、 小 型 軽 量 で非 常１こミノン ブ ル な 構 造 な の で、 保 守・修

理が大変や り易＜なっていま ず。

表１． 性 能 諸 元

型 式 名ＰＯ－５２ ＰＤ－１０２

回 転 翼型， ２段

排 気 速 度

Ｌ／ｍｉｎ

５０Ｈｚ ５０ １００

６０Ｈｚ ６０ １２０

到 違 圧 力

Ｐａ

Ｇ．仏 開 ６．７×１０－２

Ｇ．

Ｖ．

閉 ６．７

使 用 電 動 機 単相Ｖ ｌＯＯ（５０／６０Ｈｚ） １００（５０／６０Ｈｚ）

Ｗ（極数） ２００（４） ４００（４）

全 負 荷 電 流 値

Ａ単 相

５０Ｈｚ ５．６ ８．６

６０Ｈｚ ４．８ ７．７

回 転 遠 度

ｒ／ｍｉｎ単 相

５０Ｈｚ １４５０ １ ４３０

６０Ｈｚ １７３０ １ ７２０

使 用 油標 準 油 ＳＭＲ－１００ Ｒ－７

油 量 ｍＬ ４３０ ８００

吸 気 管 径

ｍｍ外 径 φ１８ 外 径 φ３０

注１） 上 表の ｒ到 達圧力」 はマクラ ウ ド真空計１こよ る指示値 でず。 ピラニ真 空計 ではマク

ラウ ド真空 計よ り約一 桁高い 値を示 しまず。

注２） 真 空 ポ ン プ油 は、 種 類１こよ っ て 蒸 気 圧、 粘 度、 油 性 等 が 異 な りま ず の で、 ポ ン ブ の

性能に影響を 及 ぽしまず。 当 社指定の 油回転真空ポンブ油を ご使用 下さ い。

指 定 油 ： Ｓ Ｍ Ｒ －１ ０ ０

Ｒ － ７

注 ３） Ｇ．Ｖ．

と は、 ガ ブ バ ラ フ ト バ ル フ“の 略 で ず。

一４一

２．２ 寸 法 図

モータ仕様

総 質 量

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２００Ｗ，４極，ＡＣ １００Ｖ ５０／６０Ｈｚ，単相，分 相 始 動 式 ・ 防 滴 保 護 型

約１８ ｋｇ

図１． ＰＤ－５２ 油 回 転 真 空 ポ ン プ 寸 法図

一５一

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５５０叱 ４極，ＡＣ １００Ｖ ５０／６０Ｈｚ，単 相、コ ン デ ン サ 始 動 式， 防 滴 保 護 型

約２２．

５ ｋｇ

図２． ＰＤ－ｌ０２ 油 回 転 真 空 ポ ン プ寸 法 図

様

量

仕夕

質

モ

総

－６－

３． 取 付

３．１ 据 付

据 付 場 所 は、 塵 挨 及 び 湿 気 の 少 な い 所 を 選 び、 水 平１こ設 置 し て 下 さ い。 そ し て、 ポ

ン ブ の 取 付、 取 り 外 し、 点 検、 掃 除 等 の 作 業 を 考 慮 し た 配 置１こ し て 下 さ い。

装 置 等１こ組 み 込 む 場 合 は、 特１こ雰 囲 気 温 度１こ 注 意 し て 下さ い。 ま た、 防 振 ゴム 等 を

利 用 し て 装 置 か ら 浮 か し、 装 置 に 振 動 が 伝 わ ら な いよ う１こ取 り 付 けて 下 さ い。

周囲条件１こっいては、 ｒ０．４．２ 保 管、 据 え 付 け及 び

、 運 転 時 の 周 囲 条 件」 を参

照 し て 下 さ い。

△ 留意ポ ン プ を 傾 けた り、 横 倒 し に した り、 或 い は 逆 さ ま に運 転 す る と、 ポ ン プ が 壊 れ ま

す。 図１，２の よ う に 吸 気口 を 上 に し て、 水 平 に 設 置 し て 下 さ い。

３．２ 注 油

注 油口か ら注油栓を取り外 し、 ポン ブに付 属 しているポンブ油、 或い は当社指定の

ポ＝ソプ 油（ＳＭＲ－１００）を 才イ ル レ ペ ル ゲ ー ジ の 赤 線 ま た は赤 丸 の 範 囲 内 ま で 八 れま ず。

初 回 は オ イ ル し ベル ゲ ー ジ の 上 限 近 ＜ ま で 入 れ ま ず。 注 油 の 後、 注 油 栓 を ポ：ノブ に

取 り 付 け て 下 さ い。 （図 ３・４． 参 照）

ポ ンプの油面 は、 運転中常１こオイ ルしベル ゲージの赤丸 の範囲内１こあるように管 理

し て 下さ い。 油 量 が 適 量 で な い と ポ ン ブ の 性 能 を 低下 さ せ、 更に＝故 障 の 原 因 に も な

り ま ず。

油 量 が オイ ル し ベ ル グーミゾの 赤 丸 よ り 見 え な い範 囲 に な ると、 到 達 圧 カ が 高 ＜ な り、

ポ コ ポ コ と い う 排 気 音が 止 ま ら な い こと が あ りま ず。

一７一

① 鮒口

１蛆

赤帖

オイルレペルゲーリ

図３． 油 回 転 真 空 ポ ン プヘ の 注 油 （ＰＤ－５２）

①注油口

明気管

オイルレペルゲージ

ドレーンブラク

ポ ン ブ

０００００

（１） オイルしベルゲーミゾの油面 （２）注油方 法

図４． 油 回 転 真 空 ポ ン プ ヘ の 注 油 （ＰＯ－１０２）

△ 注意①

②

ゴ ム 手袋、 保 護 眼 鏡 等 の 保 護具 を 着用 し て 下 さ い。

注油作業前に 「１．２ 化学物質 安全データ シート」 を予めお読み 下さい。 万一手

に付 いた 時 や、 誤 っ て 目 に ポ ン プ 油 が 入 っ て しま っ た 時 は、「１．２ 化 学 物 質 安

全データシート」 の応 急処置の 項に従っ て下さい。

△ 留意ポ ンプ油は、 当社指定 以外のも のを ご使用 しない で下さい。 それ 以外 の油を使用 し

た 場 合、 ポ ン プ の 性 能 が 悪く な っ た り、 ポ ン プ の 寿 命 が 短 く な り ま す。

一８一

３．３ 真 空 配 管

（１） 真 空 室、 配 管、 真 空 バ ル ブ 等 の 内 壁 は 清 浄 に し て、 水 分、 細 紛 及 び 塵 挨、 錆 等 を 十

分１こ 除 去 し て か ら ポ ン ブ１こ 接 続 し て 下さ い。

△ 留意細紛、 塵埃 等を吸引 しますと ポン プが故障する こ とがありま す。 また、 水分 を吸 引

しま すと到達圧 力が高くなる だけでなく、 ポ ンプ内 部を錆びさせて故 障の原因 に な

り ま す。

（２） 真 空 室 と ポ ン ブ の 間 に は、 図４． の よ う１こ、 真 空 バ ル ブ（Ａ）及 び リ ー ク バル ブ（Ｂ）を耳又

り 付 けて 下 さ い。

リーク バルブ

（Ｂ）

真

空

（Ａ〕

真空バルブポンプ

図５． 真空 室 と 基 本 的 な 配 管 接 続 図

（３） 吸 気 管 と 相 手 管 と の 接 続 は、 真 空 ゴ ムホ ー フ 等 で 配 管ず るよ う に な っ て い ま ず。

△ 留意吸気 管内の金網 は、 異物がポン プ内 に入る のを防 ぐものです。 外 さない でお使い 下

さ い。

一９一

３．４ 電 気 結 線

３．４．１ 単 相 モ ー タ 仕 様 の 場 合

（１） こ の ポ ン プ は、 ポ ン プ 側 で の 電 気 結 線 を 予 め 行 っ て い ま ず。

（２） ポンブの電源 コー ドのブラ ダを 単相１００Ｖのコンセント１こ差し 込んで下さい。

（３） この二Ｅ一タ には、 過負荷保 護装 置 （手動復帰型サーマル ブロ テクター） が内蔵さ れ

て い ま ず。

３．５ 電源電圧及び周 波数の変 動

このポ１ソブは、 電源電圧 及び周 波数が下記の範囲で変イヒして も実用上 支障な＜使用

で き ま ず。 但 し、“実 用 上 支 障 な ＜” と は 寿 命 を 著 し ＜ 短 縮 ず る 程 度１こ至 ら な い こ

とを意味し特性ならび１こ温度上 昇などは定格状態には準じませ ん。

・電源 電 圧 の 変 動 ±１Ｏ％

・電 源 周 波 数 の 変 動 ± ５％

・電源電圧と周 波数の同 時変動 両者絶対値 の和が１Ｏ％以 内。

△ 微 ま』■昌≡ 一コ

電 気 結 線 を行 う と き は、 電 源 スイ ッ チ を ”ＯＦＦ” に し て か ら 作 業 を 行 っ て 下 さ い。 活

線作業 （電気を流したまま の作業） は絶対に行わ ないで下さい。 感電 します。

アース を確実に設置して下さ い。 故障や漏電の時に感電す る恐 れが有ります。

ま た、 専用の漏電遮断機の設 置も推 奨致します。

△ 注意配 線 工 事 は、 電 気 設備 技 術 基 準 や 内 線 規 定 に 従っ て、 正 しく 行 っ て 下 さ い。 誤 っ た

配 線 工 事 は、 火 災の 原 因 に な り ま す。

△ 注意モータ の容量に合った過 負荷 保護装 置を取付けて下さ い。 過負 荷保 護装置を取付 け

な が っ た り、 取 付 けて も モ ー タ の 容 量 に 合 っ て い な い場 合 は モ ー タ の 損 傷， 火 災 の

原 因 と な り ま す。

一１０一

４． 運 転

４．１ 運 転 上 の 注 意

△ 警告破裂 の恐 れがあります。 排気 口 を塞いだ り、 排気口側に ガスの通 過 を妨害する機 器

を つ け た 状 態 で、 ポ ン プ を 運 転 し な い で く だ さ い。 ポ ン プ 内 圧 が 上 昇 し て、 ポ ン プ

本体 が破裂 したり、 オイ ル レベ ル ゲージ が飛 び出したり、 モ ータ が過 負荷になる 恐

れ が あ り ま す。

こ の ポ ン プ は、 耐 圧 構 造 と な っ て お り ま せ ん。 ポ ン プ の 内 部 圧 力 の 限 界 値 は、

Ｏ．０３ ＭＰａ （ゲ ー ジ 圧） で す。

△ 留意① 半導体 製造 プロセ スでは、 ポンプ 油がごく短時問 で劣化 するこ とがあります。

ポン プ油の交換 を初 回は１Ｏ日 以内に 行って、 ポンプ油の汚 れ具合 を判断 した後、

ポ ン プ油 の 交 換 サ イ ク ル を 決 め る よ う に す る こ と を、 お 勧 め い た し ま す。

② 水 分等を多量にポン プが吸い込 む場合は、 油の交換を頻繁 に行っ て下さ い。 水

分 を吸い込んだままで使用 して いますと、 ポンプ油の潤 滑性 が劣化 し、 更 にポ

ン プ 部 品 の 腐 蝕 を 促 進 し ま す の で、 ポ ン プの 故 障 につ な が り ま す。

③ 酸等の 薬品を吸引した場合 は、１晩の停 止期間中 に錆 び付き運 転不能 になる こと

も あ り ま す の で、 吸 引 後 直 ち に ポ ン プ油 を交 換 し て下 さ い。

④ ポン プ油の潤 滑性を劣化させ る溶剤等 を吸引 した場合も、 カジ リ等の原因にな

り ま す の で、 ポ ン プ油 を 交 換 し て 下 さ い。

⑤ ｌＯｋＰａ以上の高い吸入圧力 での 連続運転を行いますと、 ポン プ油の消耗が激 し

く、 油 量 不 足、 ポ ン プヘ の 油 供 給 不 足 に な り ま す。 不 足 が 過 ぎる と 部品 の 急 逮

な摩耗、 カジ リ等の原因 になりま す。 高い吸入 圧力での連続 運転 を出来る だけ

行 わ な い よ う に し、 ポ ン プ 油 の 補 給 も 忘 れ ず に 行 って 下 さ い。

一１１一

４．２ 運 転 開 始

リー グバ」レプ（Ｂ）を閉 じ、 吸気口に つながる真空 バル ブ（Ａ）を開いて ホンプの スイ ッ

チ を ”０Ｎ” に し て 運 転 を 開 始 し て 下 さ い。 ボ ン プ が 排 気を 始 め ま す。 （図５． 参 照）

△ 注意火傷の恐れがあります。 ポンプ運転中 は高温になります （４０～８０℃） の で、

モータ やポンプ本体 には触らないで 下さ い。

高い圧力領域で運転する と、 排気側 より 油煙 （オ イルミスト） が発生しま す。

オイ ル ミ ス ト ト ラ ッ プ を 取 り 付 け る か、 ダ ク ト 配 管 を行 い、 屋 外 に放 出 す る か、

排 気装 置 を設 け て 下 さ い。

△ 留意回 転 の 調 子 が 悪い 場 合 は、 次 の 処 置 を 行 っ て 下 さ い。

イ） ま ず油 量 を点 検 し、 適 量 に しま す。

口） 雰囲気温度が低 い時期 に使用の場 合、 長期間 （３日以上） ポンプ を停止状 態 にし

て置きますと、 シリン ダ内にポン プ油が侵入します。 （前 回の停止時に ポン プ

内 を大気圧状態 にして置いても同 様です。 ） このままの状態 でポン プを再 起動

しますと過負荷のため に、 過負荷保 護装置 が作動すること があ ります。 こ の時

に は、 ポ ン プ の 寸 動（短 時 問 の０Ｎ－ＯＦＦ運 転）を 数 回 行 っ て 下 さ い。

△ 留意数時間運転を継続する と、 ポンプ内の油温が７０～８０℃ に上昇します。

もしも、 油温 がこ れ以上の 時は、 異 常箇所が ある可能性 があります ので、 点 検す る

か 当 社 に、 ご連 絡 下 さ い。

４．３ 運 転 停 止

ます真空バルブ（Ａ）を閉 じ、速や かにリーグバルブ（Ｂ）を開 いてボン プのスイ ッチを

”０ＦＦ

”に し ま す

。 （図 ５． 参 照）

△ 注意火傷の 恐れがあります。 ポン プ運 転中 は高温になります （４０～８０℃）。 停 止後も ポ

ン プ が 冷え る ま で は、 モ ータ や ポ ン プ本 体 に は 触 ら な い で 下 さ い。

一１２一

４．４ 寒 冷 時 の 運 転

冬季 において、 寒 冷地や屋 外 で使用 ずる場合１こ、 ポンブの起動 が困難１こなる こと が

あ り ま ず。 ポ ン プ油 の粘 度 が 高 ＜ な っ た こと１こよ る、 過 負 荷 現 象 で ず。 ポ ン ブ油 を

温 め る か、 ポ ンプ の 寸動 （短 時 間 の０Ｎ－ＯＦＦ運 転） を数 回 行 っ て 下 さ い。

数 秒間 回って停止ずる場合、 リークバルブ（Ｂ）を開けること で、 連 続運転出来るこ と

が ありまず。 ポンプが温ま った ところで、 リークバル ブ（Ｂ）を閉 じ正 規の運転１こ戻 し

て 下 さ い。

４．５ 逆 流 防 止 機 構

この ボンブは逆 流防止機構が 組み 込ま れて いまず。 ポンブ停 止時の油の逆流 防止 に

有 効 で ず。

逆流防 止機構 は停電等の緊急 停止時用 であ り、 通常の運 転停止 では ｒ４．３ 運 転 停

止」 の 操 作 を 行 っ て 下 さ い。

△ 留意必 ず真空バルブ（Ａ）を閉 じて から、 リークバル ブ（Ｂ）を開い て、 ポ ンプを停 止さ

せ て 下 さ い。 こ の 操 作 を 行 わ な い と、 ポ ン プ 油 が シ リ ン ダ内 に 充 満 して、 再 起

動 が 困 難 に なっ た り、 ポ ン プ に 損傷 を 与 える こ と が あ り ま す。

また、 真空室側 にポン プ油 が逆流する 場合も あります。

真 空バルブ（Ａ）を閉じない場合 には、 大気側からポンプ内部 を通って真空 リーク

す る こ と があ り ま す。

一１３一

４．６ ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ

このポ ンプはガ ブバラブトバ ルブを標準装備 して いまず。 水蒸 気や溶剤 蒸気等の 凝

縮 性 ガ フを 吸 引 ず る 場 合１こ有 効 で す。

凝縮性 ガスは吸弓１さ れた後、 ポン プの圧 縮加圧工程で液体 化してポンブ油１こ混八 し、

油と共にポンブ内を循 環し始 めまず。 こうなりまず と、 蒸気圧の 高い油 を使 った の

と同じ効果が 現われて、 ポンブ の到達圧カ が高＜な りまず。 また、 油の潤滑 性が 低

下 し ま ず の で、 ミノ巾 フ トミノー ル 部 の 寿 命 を 縮 め ま ず。

ポンプの圧縮 加圧工程 の直前で ガスバラプトバル ブから空 気あるいは乾燥窒素 を八

れ ま ず と、 凝 縮 性 ガ フ は 液 化 せ ず に 排 気 弁 を 経 由 し て、 空 気 と 一 緒 に 排 気さ れ ま す。

ガフバラフト バル ブを使用ず る場合１こは、ポン ブ温度が高 い程 ｒガスバラ ブト効果」

が大き いので、 凝 縮性 ガプを 吸引ずる前１こガフバラプトバル ブを開いて約２０分運 転

し、 ポ ン ブ温 度 を７０℃ 程 度１こ 高 め て か ら、 真 空 バ ル ブ（Ａ）を 開 い て 運 転 して 下 さ い。

温度が低いときの 「ガフバラ フト効果」 は処理 能カ を下回りま ず。

な お、 凝 縮 性 ガ プ を 吸弓１し な い 時１こガ ブ バ ラ ブト バル ブ を 開 け た ま ま１こ して お き ま

ず と、 ポ ン ブ 油 の 飛 散 およ び 動 カ ロ プ を 伴 う だ け で な＜、到 達 圧 カ が 高 ＜ な りま す。

ま た、 ガプ バ ラ ス ト バ ル ブ１こよ る 凝 縮 性 ガ フ の 処 理 能 カ に 限 界 が あ りま ず の で、 多

量 の 凝 縮」１佳ガ フ を 排 気 し た り、 ガ ブ バ ラ プ ト バ ルフ“を 開 け ず１こ凝 縮 性 が プ （油 を 汚

ず少量の水分や他の蒸 気を含 んだ空気やガフ） を排気 した後は、 ポッブ油１こ凝 縮性

ガブ が 残 存 し ま ず。 こ の 場 合、 真 空 バ ル ブ（Ａ）を 閉 じて ガ フ バ ラ ブ ト バルフ“を 開 い て

空 運 転 しま す と、 油 温 が 上 昇 して、 ガ プ バ ラ ブ ト バル ブ効 果１こよ りポ ン ブ油 を 浄 化

ずることができます。 これは ガスバラブト バルブを閉 じた 状態で所定の到達圧力が

得られるまで行って＜ ださ い。 長 時間かけて も浄化が進ま ない場合はポンブ油の 交

換 が 必 要 で ず。

△ 注意真空 ポンプ は運転中高 温に なります（６０℃ ～８０℃）。 ガスバ ラス トバルブ操 作時はバ

ル ブ以外の場所に手 を触れない で下さい。

必ず ガスバラストバル ブを閉じて から運転を開始して 下さい。

△ 留意凝縮性 ガスを排気 しない 時に ガスバラ ストバルブを開 けたま まに しておきますと、

ポ ン プ 油 の 飛 散、 動 カ ロ ス、 或 い は 到 達 圧 カ の 上昇 を 伴 い ま す。

凝 縮 性 ガ ス を 排気 し な い 時 は、 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ を 閉 めて 下 さ い。

一１４一

４．７ オ イ ル ミ ス ト ト ラ ッ プ （オ プ シ ョ ン） の 取 付 け

ポンプの排気の油煙 を捕るため１こ、 オイ ルミ プトト ラツプを取り付ける ことが出 来

ま ず。 ＰＤ－５２１こはＯＭＴ－０５０Ａ型， ＰＤ－１０２１こはＯＭＴ－ｌＯＯＡ型 が 取 付 可 能 で ず。 ポ ン プ の 排 気

口部 に取り付けて いる標準排気管を取 り去 り、 この代 わりにオイルミフト トラツ ブ

を取り付 けて 下さい。 これを取り付 けまず と、 排気の油 煙が出な＜なると同 時１こ排

気 音 も 半 減 し ま ず。

詳細 はオ イ ル ミ ブ ト ト ラ ツ ブ の 取扱 説 明 書 を こ’覧 下 さ い。

４．８ オイ ル ミ ス ト ト ラ ッ プ 取 付 時 の 運 転 制 限

オ イ ル ミ ブ ト ト ラ ツ ブ を 使 用 ず る 場 合 は、 以 下 の 運 転 制 限 が あ りま ず。 フ イ」レタ ー

の 目 詰 ま り が 起 き た ら 交 換 し て 下 さ い。

ポ ン ブ の 内 部 圧 カ の 限 界 値 は、 Ｏ．０３ ＭＰａ （ゲ ー ジ 圧） で ず。 排 気側 の 圧 カ を測 定 し

てＯ．０３ ＭＰａ （ゲ ー ジ 圧） 以 上 で し た ら、 オ イ ル ミ プ ト ト ラ ツ プの フ イ ル タ ー の 交 換

を 行 って 下 さ い。

△ 警告破裂の 恐れがありま す。 オイ ルミストトラ ッ プ装着時の 運転 制限を必ず守っ て下さ

い。 フ ィ ル タ ー の 目 詰 ま り が 起 き た ら 交 換 し て 下 さ い。

一１５一

５． ポ ン プ’性 能

５．１ 到 達 圧カ

カタロク汲 びこの取扱説明 書に記載 した ｒ到達圧カ」 は、 「ポン ブの 吸気口 から 気

体を導入しない状態 （無負荷 運転状態） で、 ポンブ１こよ って 得られる 最低の圧力」

を 意 味 し ま ず。 当 杜 で は、 指 定 の ポ ンフ 袖 を 用 い、 ポ ン ブの 吸 気 口１こピ ラニ 真 空 計

の み を 接 続 し て測 定 して い ま ず。

ピラニ真空計 では、 マクラウ ド真空計よ り、５～１０倍 の高い圧カを示 ずことが 多い の

でご留意下さ い。 これは測 定気体中に 含まれる凝縮性 ガブ成分 （主 に水分） をマク

ラ ウ ド真 空 計 で は 除去 し て し ま う か ら で ず。

また１、 実 際 の 真 空 装 置 で は、 到 達 圧 カ が カ タ ロク“値 よ り 高 い 圧 カ１こ な り ま ず。 こ れ

に は 次 の よ う な 理 由 が あ り ま す。

① 真空計の取 付場所が ポンブか ら遠 い上に、 装 置内壁、 配管等１こ付看して いる水

滴や錆等 から発生ずる 水蒸気や種々 のガ ブが到達圧カ を高＜ しま ず。

② ポンブ油に溶 け込ん だ揮発成分が再 びガ ブイヒして、 到 達圧カを高＜ しまず。

（ポンブ油の劣化）

③ 真空経路内に、 真空漏れ （リーク） な どのガスの供給源が ある場合 は、 到達圧

カ が 高 ＜ な り ま ず。

５．２ 排 気 速 度

油 回転真空ポンブの排気速度は、 吸 気ずる ガブの種類と圧カ１こよ って 変化 しまず。

一 般に高い圧カ 領域で最大の排気速度 を示 し、 圧カが 低＜なる１こつれて少し ずつ 低

下 しまず。 このポンブの 公称排気速度 は、 乾燥 した空 気を吸気した日寺の最大値 を示

し て い ま ず。

５．３ 所 要 動 カ

ポンブを駆動ずるための動カは、 機 械要素の 回転摩 擦に対ずる仕 事 （機械仕事） と

空 気 を 圧 縮 ず るイ士事 （圧 縮 仕 事） の 合 計 値 で、 吸 入 圧 カ４×１０４～２．７×１０４ Ｐａ付 近 で

最 大 と な りま ず。 １３．３Ｐａ以 下１こな り ま ず と、 圧 縮／士事 は 小 さ ＜、 動 カ の 殆 ど は機 械

／士事１こ 消費 さ れま ず。

一１６一

６． 保 全 ・ 点 検 ・ 修 理

６．１ 保 全

運転中は少なく とも３日に一度 は下 記の項目を確認 して下さ い。

（１） ボンプ油 量 は、 オイル レベ ルグージの赤線 まア三は赤丸の範 囲内 に ありますカ１。

（２） ボ ン プ油 は、 変 色 し て い ま せ ん か。

（３） 異 常琶 はして いませんか。

（４） モータ電 流値に異 常はありません か。

（５） 才イルシー ルから の油漏 れはあり ませんか。

異常がある場 合に は 「６．５ ト ラ ブ ル チ ェ ッ ク リ ス ト」 に従っ て処置 して下さ い。

６．２ 定 期 点 検

貞 検内 容はボン プの使用状況に より変える必要 がありますが、 次のこ とを 定期 点検

し て 下 さ い。 故 障 を 回 避 した り、ボ ン プ寿 命 を 延 ばす の に 有 効 で す。

△ 注意① 点検前に は、 必ず電源 を切っ て下さい。 点検 時は絶対に電 源を入 れないで下さ

い。 け が の 原 因 に な り ま す。

② 停止直後は、 ポンプが高温で す。 ポン プ温度 が下がるまで 暫く待っ てから点検

を 行っ て 下 さ い。 火 傷 の 恐 れ が あ り ま す。

（１） ボンプ油 の定期 交換

ボンプ油 は運転 とともに劣化 します。 オイ ル レベルグージより、 汚物によ るボン プ

油 の汚濁 程度や 粘度状況を調べ て、 早 めにボン ブ油の交換を行 って下 さい。 定期的

にボン プ油 の交換を 行えば、 ボ ンプの 性能の劣化を抑えると同時 に、 ボン プの寿命

を 長 く し ま す。

ボ＝ノプ油に 水分等が多量 に混入 した状態 で運転し続けますと、 ま す到 達圧カ の劣化

が始まって、ボン プの機械 的摩擦部分の動き が鈍く なり、 ついには ボンプが破損 し

ま す。 ボ ン プ油 の 交 換 は、「６．３ ポ ン プ 油 の 交 換」 に 従 っ て 下 さ い。

一１７一

表２． 定期 点 検 表

点検周期 点検対象 点 検 内 容 対 応

油量 が規定 量あるか オイルの補充

オイ ルオイ ルの色 は正常か

（赤茶褐色， 白濁）は異常オイルの交換

１回／３日 音 平常 と変わった音 はないかボルト・ナット の緩みを確 認

不明の場合は当社 に連絡振動 平常と 変わった振動 はないか

電流値 定格電流 値以下で ある が過負荷の原因を確 認

不 明の場合は当社 に連絡

表面温度

１回／週

表 面温度 は正常か

室 温十４５℃ 以上は異常

過負荷の 原因 を確認

不明の場合 は当 社に連絡

油漏れ軸 封部，

各 プラ グ等か らの油漏

れはない か

シール 類の交換

或い は当社 に連絡

１回／３０００ｈｒ

Ｏｒ

１回／６ケ月

吸 気金 網 ダス ト等が詰まってい ないか 金 網の掃除

オイ ル 異常 が無くても 必ず実施 オイ ルの交 換

１回／年 スパイ ダー 破損、 欠 けはな いが スパイ ダーの交 換

（２） ポンプ油 量の点検

運 転中にポンブ油 面がオイル しベルグージの赤 丸の範囲内１こあるよ うに、 所定の ポ

ン ブ油 を 補 充 し て 下さ い。

（３） 油漏 れの 点検

ミル フ トミノー ル 部、 ド し＝ソ プラ ダ シ ー」レ部 等 か ら 油 漏 れが 起 こ っ た 時 は、 修 理 が 必

要 でず。 所 定 の Ｏ リ ン ダ や シ ール 類 を、 巻 末 記 載 の サ ー ビ ブ 部 門 に 常備 在 庫 し て お

り ま ず の で、 ご 連 絡 下 さ い。

（４） 吸気釜網の点検

吸気ガブに含ま れるダ スト 等が金網を詰ま らせ、 ポンプの能率 を損なうことが あり

ま ず。

（５） 異常音、 異常振動 の点検

ボ ル ト ナ ツ ト 等 の 緩 み も 併 せ て 点 検 し ま ず。

一１８一

（６） カ ツ ブ リ ンク“ ス パ イ ダ ー の 点 検

ポン ブ本体と二Ｅ一 タをつな ぐカツ ブリンダの ブパイ ダー１こ破損はない か。 ブパイ ダ

ー１こ割 れ、 欠けが ある場合は、 ｒ６．４ カ ツ プ リ ン グの ス パイ ダ ー 交 換」１こ従 っ

て ブ パ イ ダ ー を 交 換 し て 下 さ い。

（７） オ イルミ フトトラツ ブの点 検

標 準 排 気 管１こ 代 え て オイ ル ミ プ ト ト ラ ツ プ を 使 用 ず る 場 合 は、 オ イ ル ミ フ ト ト ラ ッ

プ 内 の フ イ ル タ ー の 目 詰ま り に 留 意 し て 下 さ い。 目 詰ま り が ひ ど ＜ な り ま ず と、 排

気 ガプの逃 げ場が 無＜なり、 ポン プ内圧が上が って、 オイ ル レペル ゲージが飛 び出

し た り、 シ 巾 フ トミノー ル 部 や ドし ン プ ラ ダミノー ル 部 等 か ら の 油 漏 れ の 原 因 に な り ま

ず。 ポ ン プ の 内 圧 限 界 はＯ．０３ ＭＰａ （ゲー ジ 圧） で ず。

以上 の点検項目の 他１こ、 長期間運転 を継続した り、 吸気 ガブ１こよ るポ ンブの汚染 の

激 し い 場 合 は、 分 解 修 理が 有 効 で ず。 巻 末 記 載、 最 寄 り の 営 業、 サ ー ビ プ部 門 に お

申 し つ け 下さ い。

△ 危険当 社 サー ビス部門へ分 解修理 を依頼さ れる場合 は、 吸引 ガスの種類等 を必ず巻 末の

‘‘使 用 状 況 チ ェ ッ ク シ ー ド に 記 入 し 提 出 して く だ さ い。 有 毒 ガス の 排 気 に 使 用 し

た 場 合 は ポ ン プ 本 体 及 び、 ポ ン プ油 も 有 毒 に な り ま す。 ガ ス の 種 類 に よ っ て は、 分

解修理 出来ない場合も あります。 十分 ご留意 下さい。

６．３ ポ ン プ 油 交 換

ポ ンブ油の劣化 によ って、 真空装置の圧力が 高＜な ることが ありまず。 ポン ブの吸

気 口 を 閉 じて、 所 定 の 到 達 圧 カ が 得 られ る か を 確 認 し て、 不 可 の 場 合 は ポ ン フ。油 を

交換 して下さい。 ポンブ油に低沸点分 （水分、 溶剤 等） が混 ざったり、 ポン ブの底

にヘ ドロ状の （スラ ツミゾ） の ものが溜まりまず と、 ・ 度の交 換ではポンブの到 達圧

カ は回復 せず、 数回 行う必要 がありまず。 ポ ンブ油の 劣化は吸 気ガプ１こよ る汚染 だ

け で な＜、 運 転 時 間１こ 依存 ず る ポ ン ブ 油 目 身 の 性 状 変 化 に よ って も 起 こ り ま ず。

表２． １こ示 ず 油 交 換 目 安 に 従 っ て、 定 期 的 交 換 を お 勧 め し ま ず。

一１９一

△ 危険有毒ガスの排気に使用 した 場合 は、 ポン プ本体はもちろ んのこ と、 ポン プ油 も有毒

に な りま す。 十 分 ご留 意 下 さ い。

△ 注意① ゴム手袋、 保 護眼鏡 等の 保護具 を着用 して下さ い。

② 注油作業前に 「１．２ 化 学物質 安全データシー ト」 を予め お読み下さい。

万一 手 に 付 い た と き や、 誤 っ て 目 に ポ ン プ 油 が 入 っ て し ま っ た 時 は、

ｒ１．２ 化学物質安 全 データシー ト」 の応 急処置 の項に従って 下さい。

△ 留意ポン プ油は、 当社指定 以外 のも のを ご使用 しないで下さ い。 そ れ以外の油 を便用 し

た 場 合、 ポ ン プの 性 能 が 悪 く な っ た り、 ポ ン プの 寿 命 が短 く な りま す。

＜ ポ＝ソブ 油 交 換 手 順 〉

（１） ポ ンブ の 吸 気 管 を 大 気 に 開 放 し て、 ５ 秒 間 運 転 し て 下 さ い。

ポンブ内部に残った油 を効率よ ＜排出ずることが 出来ま ず。

（２） 排 気 管 を 外 し、 次１こ ド し ン ブ ラ ダ を 外 し て ポ ン ブ 油 を 抜 き ま ず。

（３） ド レン ブ ラク｛を 取 り 付 け て、 所 定 の新 し い ポ ン ブ油 を 規 定 量 だ け、 注 油 口 よ り 八 れ

ま ず。 （図３・４． 参 照 ）

（４） ポ ン プ 油 が 非 常 に 汚 れ て い る 場 合 は、 新 し いポ ン ブ 油 を 入 れて、 数 分 間 の 運 転１こよ

るポンブの洗浄を 行う必 要がありまず。 汚 れがひ どい場合 はこれを 数回繰り返しま

ず。

（５） 新 し い ポ ン ブ油 に 交 換 後、 ポ ン ブ を 運 転 して ポ１ソブ が 温 ま る の を 待 って、 到 達圧 カ

の確 認 を 行 い ま ず。

（６） 特 に汚れがひど＜、 ポンブの 底部に油フラッミゾが 溜まりま ずと、 ポ ンブ油を交換 し

ても所定の到達圧カが 得られ ないことがありまず。 このよ うな場合は、 分解修理が

必 要 で ず。

一２０一

６．４ カ ッ プ リ ン グの ス パ イ ダー 交 換

ポンブ 本体とモ ータの結合部に ゴム製 の ブパイ ダーを使用 していまず。 このプ パ イ

ダーの 旧 ／ 年程度の定期点検をお勧 めいた しまず。 コーナー部が欠けたり、 割 れが

発生して いる場含 は交換 して 下さ い。 起動と停止 を１日１こ数 百回行う場合に は、 点 検

期間を短＜ ずる必 要が ありまず。ＰＤ－５２は ポ ン ブ油 を 抜 き、 べ 一 スの 裏 面 よ り カ ツ ブ リ ンク“を 止 め て いる 六 甫 只 付 止 め

ネ ジ を ゆ る め、 ケ ーミノン ダ を べ 一 フ１こ止 めて い る４本 の ボ ル ト を 外 しま ず。 次１こ ケ ー

ミノンク“側 の 六角 尺 付 止 め ネミゾを ゆ る め る と カ ツ ブ リ ンク“が 外 れ ま ず。ＰＤ－１０２は ポ ン ブ 油 を 抜 き、 べ 一 フ の 裏 面 よ り カ ツ ブ リ ンクそ 止 め て い る 六 角 尺 付 止

め ネ ブ を ゆ る め、 ケ ー シ ンク“と モ ータ を 止 めて い る４本 の ボ ル ト を 外 し ま ず。

カ ツ ブ リ ンク“の 点 検 の 後、 再 組 付 け は、 カ ツフ リ＝ソダ を ケ ー シ ンク｝側 ロ ー タ ー 軸 の

平 面 部 と 六 色 穴 付 止 め ネ ジ が 会 う よ う に 取 付 け て、 図６．に 示 ず 要 領 で行 っ て 下 さ い。

モータ

／ べ一 ス

カツ プリ ン グ

ケー シ ン グ

ＰＤ－５２

モータ

カップリング ◆竸∵㌧

べ 一 ス

ケ ー シ ン ウＩ

ＰＤ－１０２

図６． カ ッ プリ ン グの ス パイ ダ ー 交 換

一２１一

６．５ ト ラ ブ ル チ ェ ッ ク リ ス ト

表３． ト ラ ブ ル チ ェ ッ ク リ ス ト

問 題 点 原 因 処 理 方 法 参 照

ポ ン プ が 回 転 し ① 電源に接続 されていな い ① 電源に接続する ３． ４

な い② スイ ッ チ が０Ｎに な っ て い な ② ス イ ッ チ をＯＮす る ４． ２

い

③入力 電源の 電圧異常 ③定 格電圧±ｌＯ％ にする ３． ５

④過負荷保護装 置が作動 して ④リセ ットボタン を押す

いる

⑤モータ不良 ⑤モータ を交換する

⑥雰囲気温度が低く、 油の粘 ⑥雰囲 気温度を十７℃ 以上にす ４． ４

度が高くなった る

⑦ ポ ン プ 内 に 異 物 が 入 り、 ⑦ 分 解 修 理 （シ リ ン ダ ー、 ６． ２

ローター等に焼き付き が生 ローター等の交換）

じた

⑧ 水 分、 溶剤 等 を 吸 引 し て ポ ⑧ 分 解 修 理 （シリ ン ダー、 ６． ２

ンプ内部に錆が発生 した ロ ーター等の交 換）

⑨ 反応性ガスを排気後、 ポン ⑨分 解修理 （ポンプ内 部の洗

プを停止して いた問に反 応 浄、 反応生成物 の除去）

生成 物がポンプ内部に蓄 積

した

⑩その他、ポン プ内部 部品 が ⑩分解修理

破損 した （破損部品の交 換）

ポ ン プ の 回 転 が ①入力 電源の電圧 異常 ①定格 電圧±ｌＯ％ にする ３． ５

不規則②ポン プの結線不 良 ②ポン プの結線を 再度行う ３． ４

③雰囲 気温度が低く、 油の 粘 ③雰囲気温度を十７℃ 以上にす ４． ４

度 が高くなった る

④ポン プ内部に異物 が入 って ④ 異物の除去、 分解掃 除

い る

圧 力 が 下 が ら な ①真空室の容積に対 し、 ポン ① ポン プの再選定 ５． ２

い プが小さい

② 圧 力の測定方法が間違っ て ② 正しく圧力を測定する ５． １

い る

③ 真空計が適切 でない ③測 定する圧力 領域 が合って、且つ 校正さ れた真空計 を使

用 し測 定する

④ 吸気口の接続 配管が小さ い ④吸 気口径以上 の配管で 接続 ５． １

カ＼ 配管の距 離が長 い し、 真空室との距離 を短く す

る

⑤ 吸 気 口 の金 網 が 詰 ま っ て い ⑤ 吸 気 口 上 部 の 配 管 を 外 し、 金 ６． ２

る 網 を洗浄する

一２２一

問 題 点 原 因 処 理 方 法 参 照

圧 力 が 下 が ら な ⑥油 が規定量入っ ていない ⑥油 を規定量入れる ３． ２

い⑦ 油 が劣化して いる ⑦油 を交換する ６． ３

⑧ ポ ンプを接 続している配管 ⑧リ ークディテクタ 等の洩れ探

がリ ーク している 知 機でリークしている 場所を

探 しリークを止める

⑨ 当社 純正油 を使用 していな ⑨ポ ンプの分解修理後、 当社純 ６． ３

い 正 油と交換する

⑩ 油が 循環していない ⑩分解 修理

カ バ ー等の油穴 の目詰まり 油穴 の清掃

異 常 音 が 発 生 す ① 入力 電源の電圧異 常 ①定格 電圧±１Ｏ％ にする ３． ５

る

② モータ不 良 ②モータ を交 換する

③ ポン プ内部 に異物 が入って ③ 異物の除去、 分解修理

いる

④ 油が規 定量入って いない ④油を規定量入れる ３． ２

⑤ カ ッ プ リン グ、 ス パイ ダ ー ⑤ カ ッ プリ ン グ、 ス パイ ダ ー ６． ４

の不 良 の交換

⑥油 が循環 していな い ⑥ 分解修理

カ バー等の油穴の目 詰ま り 油 穴の清掃

⑦そ の他、 ポンプ内部部 品が ⑦分 解修理

破 損 した （破損部品の交換）

ポ ン プ表 面 の 温 ①高 吸入圧で連続運 転をして ① 高吸入圧で連続運転を行う

度 が 異常 に 高 い いる とポンプ表面温度が８０℃位

室温十５０℃以 上 になるが特 に問題なし

②油 が規定量入って いない ②油 を規定量入れる ３． ２

（油量が少ないとポ ンプの

冷 却効果が低減する）

③吸 引 ガスが高温である ③ 吸気側にガスクーラー等の

冷 却機を取り付 ける

④油 が循環 していな い ④分 解修理

カ バー等の油穴の目 詰ま り 油 穴の清掃

排 気 口 か ら 油 の ①ポ ン プ油が規定量以上入っ ①油 が規定量になるように抜 ３． ２

吹き出しが多い て いる く

②高 吸入圧で連続運転 して い ②排 気側にオイルミストトラッ ４． ７

る プを取り付 ける

ポ ン プ 外 部 に 油 ① ケ ー ス、 カ バ ー 等 の Ｏ リ ン ① Ｏ リ ン グ、 オイ ル シ ー ル の 点 ６． ２

が 漏 れ る グ、 オイ ル シ ー ル の 劣 化 検、 交 換

一２３一

７． 廃 棄

ポンブを廃棄ずる時は、 法律及 び地方自 治体の定 める条例 に従 って 処理 して 下さ い。

△ 注意① 人体に危 険を及 ぽす有毒ガスを 排気 した 場合には、 専門の処理 業者に廃棄 処理

を 委 託 して 下 さ い。 ポ ン プ 本 体 の み な ら ず、 ポ ン プ油 も 有 毒 に な り ま す。

② ポンプ油の処理は、「１．２ 化 学物質安 全データ シート」 の 『廃棄上の 注意』

欄 に 従 っ て 処 理 して 下 さ い。

８． 保 証 条 項

（１） この油回転真空ポンプの保証期間 は、 当社 出荷後１ 年と しまず。

（２） 正 常 な 使 用 条 件 で、 万一、 保 証 期 間 内１こ事 故 が 発 生 し た 場 合１こ は、 無 償 で 修 理 致 し

ま ず。 正 常 な 使 用 条件 は、 以 下 の 通 り で す。

イ） 運 転雰囲気温 度及び湿度 ：７～４０℃ ８５％ＲＨ以 下

口） 排気 ガブの種 類と温度 ：乾燥 空気ま たは乾燥窒素、 ７～４０℃

ハ） 取扱説明書１こ従った運転

（３） 保 証 期 間 内 で も、 次 の 場 舎 に 限 っ て 有 償 修 理 と な り ま ず。

イ） 天 災、 地 変 や 火 災 によ る 故 障 の 場 合。

口） 塩 害、 公 害 等 の 特 殊 雰 囲 気１こよ る 故 障 の 場 合。

ハ） 使用条件が取扱説明書（性 能諸元・保 守・点検 等） に記されて いるものと異 なるた

め に 起 こ る 故 障 の場 合。

二） 当社又は、 当社が指定ずる サー ビフ会社以 外の業者等１こよ る改造・修理１こ起 因ず

る 故 障 の 場 合。

ホ） 消耗 品の交 換の場合。

へ） 当社 技術員 によって、この 真空ポ ンブの使用 条件１こ合わ ないために 発生した故障

と 判 断 さ れ た 場 合。

尚、 ここで言う保証は油回転真空 ポン ブ単体の保証を意味ずるもの で、 油回転真 空

ポ ンフ吻 故 障１こより誘発される損害 はこ容 赦願いまず。

又、 修理 晶に関ずる当社の保証責任 の範囲 は、 部 品の修理又は取り 替え１こ限定させ

て 頂 き ま ず。

保 証 は、 日 本 国 内 に おい て のみ 有 効 で ず。

一２４一

９． 分解修理 時主要交換部品

９．１ 主要交 換部品一覧表

表４． 主 要 交 換 部 品 一 覧 表（ＰＤ－５２）

使 用 箇 所 符号 コード 品 名 規格寸 法 材質 数 量

カ ップリング １ ０００９９１６８ カップリン グ Ｋ５８０２ Ｐｕ １

２ ０００９３００５ オ イ ル シ ー ル （ＮＯＫ川ＴＣ－ｌ１－２５－７ ＮＢＲ １

ケ ー シ ン グ ３ ０００９３１０８ オ イ ル シ ー ル （ＮＯＫ）ＳＣ－１２－２５－７ ＮＢＲ １

４ Ｏ００９２０２４ ○ リ ン グ ＪｌＳ Ｂ ２４０１ Ｓ－１６ ＮＢＲ １

５ ＯＯ０９２２２３ ○リン グ ＪｌＳＢ２４０１Ｐ－１８ ＳＵＳ １吸気 管

６ １０７５００６１ 吸気フィルタ ー φ１９（３０メリシュ） ＳｕＳ３０４ １

７ ｌ１７４００６２ 第１ぺ 一 ン ４５×１３ｘｔ４ Ｃ ２

８ ｌ１７４００６４ 第２ぺ 一 ン １３×１１ｘｔ４ Ｃ ２ロ ー タ ー

９ ｌ１７９００６７ 第１へ’一ンスフ

０リング φ２，４×２７ ＳｕＳ－ＷＨ ２

ｌＯ ｌ１７９００６９ 第２へ’一ンスフ’リンク’ φ ２．

４× ２４ ＳＵＳ－ＷＨ ２

１ｌ ｌ１７４００６３ 排気弁 Φ９ｘΦ６×１３ ＦＰＭ ２

シリン ダ‘１２ １１７９００６８ 排気弁スプリ ング Φ７ｘ１５ ＳＵＳ３１６ ２

１３ ｌ１７４００６１ 逆止弁 φ８ｘφ４×５ ＦＰＭ ２

１４ １１７９００６６ 逆止 弁スプリン グ φ５ｘ９ ＳＵＳ３１６ ２

第２中問カバー １５ ０００９３２０３ オイ ル シ ー ル （ＮＯＫ）ＶＣ－ｌＯ－２０－４ ＮＢＲ ２

エ ン ド カ バ ー １６ ｌ１７５００６８ オイルホ’ンフ

０フィルター ４３ｘ９（９０メッシュ） ＳｕＳ３０４ １

１７ ０００９２２１７ ○リ ン グ ＪｌＳＢ ２４０１ Ｐ－１２ ＮＢＲ １

ガスバラス トバル ブ １８ ０００９９０９０ テ フ ロ ンチ ュー ブ ０．Ｄ．１／８ ＰＴＦＥ １

１９ ＯＯＣ９９１２６ 継 手 用 ス リー ブ ＳＮ１／８ ナイロン６６ ２

２０ １１７４００６６ レヘールケ㌧ゾカ’スケリト １０９ｘ１３７．５ｘＴｌ ＃１５００ １前カバー

２１ ０００９２２１１ ○リ ン グ ＪｌＳＢ２４０１ Ｐ－１２ ＮＢＲ １

（注１） ネジ類 は全てｌＳ０規格 のメートルネミゾ

（注２） 部 品の相 関関係は、 分解図を参照下 さい。

一２５一

表５． 主 要 交 換 部 品 一 覧 表（ＰＤ－１０２）

使 用 箇 所 符 号 コー ド 品 名 規格寸法 材質 数量

カ ツプリン グ １ ｌ１６４００６７ カ ップリン グ Ｋ５８０４ ＰＵＲ １

２ ０００９２０３４ ○リン グ （ＮＯＫ）Ｓ－２４ ＮＢＲ １

ケー シング ３ Ｏ００９２０５８ ○リン グ （ＮＯＫ〕Ｓ－５５ ＮＢＲ １

４ ０００９２５１９ ○ リ ン グ ＪｌＳ Ｂ ２４０１ Ｖ－１６０ ＮＢＲ １

吸 気管 ５ ０００９２２３１ ○リング ＪｌＳＢ２４０１ Ｐ－２４ ＮＢＲ １

６ ０００９３０１０ オイ ルシール （ＮＯＫ川ＴＣ１７－４０－９ ＮＢＲ １

第１中間カバー ７ Ｏ００９３４０２ オイ ルシール （ＮＯＫ〕ＳＣＹ１７－３０－７ ＦＫＭ １

８ ＯＯ０９１０３５ ボー ルベアリング ６２０３開放 ＳｕＪ １

９ １１６９００６３ べ 一 ン ス プ リ ン グ φ２．４ｘ２４ ＳｕＳ ８

ロ ー タ ーｌＯ １１６３００６３ 中 問 ピ ン φ２ｘ φ３．４×２７ ＤＲＲ ４

１１ １１６４００６１ 第１ぺ 一 ン ６２ｘ１５．５ｘｔ６ Ｃ ２

１２ １１６４００６２ 第２ぺ 一 ン ２０×１４×ｔ６ Ｃ ２

シ りンダー１３ １２１４００６１ 排気弁 φ１５ｘφ１３×９ ＦＰＭ ４

１４ １１６９００６４ 排気弁スプリン グ φｌＯｘ２２ ＳＵＳ ４

第２中間カ バー１５ ０００９３１１７ オイ ルシール （ＮＯＫ〕ＳＣ１５－３０－７ ＦＫＭ １

１６ ０００９１０２３ ボ ールベアリング ６０ ０２開放 ＳｕＪ １

１７ Ｏ００９２２１７ ○ リ ン グ ＪｌＳ Ｂ ２４０１ Ｐ－１２ ＮＢＲ １

ガ ス バ ラ ス ト バ ル プ １８ Ｏ００９９０８８ テ フ ロ ン チ ュ ー プ ０．Ｄ．１／８ ＰＴＦＥ １

１９ ０３３２７ 継手用 スリー ブ ＳＮ１／８ ナイロン６６ １

前カバー２０ １１６４００６８ オイ ルレペ ルゲージ ＫＷ－１号 ＰＣ １

２１ ＯＯ０９２２１１ ○ リ ン グ ＪｌＳ Ｂ ２４０１ Ｐ－８ ＮＢＲ １

（注１） ネジ類 は全 て」Ｓ０規格 のメートル ネジ

（注２） 部 晶 の 相 関 関 係 は、 分 解 図 を 参 照 下 さ い。

一２６一

９．２ 分 解 図

ガ〒

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∴㍗図８． ＰＤ－１０２ 油回転真 空ポンプ分解図

Ｎｏ．１０１００－２－０１－２

（別紙） 化学物質安全データシート（ＭＳＤＳ）

この ポンブを 運転ずる上で、 使用 ま たは、 触 る可能性のあ る化学 物質を紹 介して いま ず。

ＭＳＤＳｌこ記 載さ れ て い る 有 害 特 性 を 理 解 して 頂 ＜ た め に、 良 ＜ 読 ん で 下さ い。

△ 注意ＭＳＤＳは、 危険有害な化学 物質に ついて、 安全な取扱い を確保 するため の参考 情報と

し て、 提 示 す る も の で す。 ポ ン プ 油 を 取 り 扱 う 方 は、 こ れ を 参 考 と し て、 自 ら の 責

任 にお いて、 個々の取扱し、等の 実態に応 じた適切な処置 を講 ずること が必要 である

こ と を 理 解 した 上 で、 活用 さ れ る よう お 願 い し ま す。 従 っ て、 こ のＭＳＤＳその も の は、

安全の 保証書で はありませ ん。

【別 表】 化学物質安全データ シート 真 空ポンプ油 ＳＭ Ｒ－１ ００

製 品 名 Ｓ Ｍ Ｒ －１ ０ ０

主用途 真空ポ ンプ油

物質の特定 単一製晶 混合物の区別： 単一製品

化学 名： 石油系炭化水素

成 分及ぴ含有量＝ 潤滑油基油 １００％

化学 式または構造式： 特定 できない

官報公 示整理番号： 企業秘 密なので記載 でき ない。Ｃ Ａ Ｓ Ｎ ｏ ｌ 企 業 秘 密 な の で 記 載 で き な い。

労働安 全衛生法（通知 対象物質） 鉱油 １ ００％

Ｐ Ｒ Ｔ Ｒ 法 ： 言亥当 し な い

危険有害性 分類の名称１ 分類基準１こ該当し ない。

の分類 主な危険有害性は 次の通 りである。

危険性＝ 消 防法 危険物 第四類第四石油類

有害性＝ 現 在までのところ有用な情報なし。

環境影響＝ 現 在ま でのところ有用な情報なし。

応急処置 目 に八った場合： 清 浄な水 で十分１こ目を洗浄したのち、 医師の診断を受ける。

皮膚１こ付看した場合１ 水と石 鹸で付看した部分を洗う。

吸入 した１場合＝ 新鮮な空 気の場所に移ず。 身体を毛布 などでおお い、 保温して安 静１こ

保 ち、 必 要 な ら 医 師 の 手 当 て を 受 け る。

飲み 込んだ場含＝ 無理１こ口土かせないで、 直ち１こ医師の手当て を受け る。 口の中が汚染さ

れ て い る 場 合 に は、水 で 充 分 に 洗 う こ と。

火災時の 措置 消火方 法＝ １． 火元への燃焼源 を断つ。

２． 初 期 の 火 災１こ は、 粉 末、 炭 酸 ガ フ 消 化 剤 を 用 い る。

３． 大規 模火災の際１こは、 泡消化剤 を用 いて空気を遮 断ず ることが 有

効である。注水 は、 火災を拡大 して危険 な場 合がある。

４． 周 囲 の 設 備 な ど に 散 水 し て 冷 却 ず る。

５． 消 火 作 業 の 際 に は、 風 上 か ら 行 い 必 ず 保 護 具 を 看 用 す る。

６． 火災 発生場所の周辺に関係者以外の 立入 りを禁止ずる。

消 化 剤 ： 霧 状 の 強 化 液、 泡、 粉 末、 ま た は 炭 酸 ガ フ 消 化 剤 が 有 効 で あ る。 消 化

に棒状の 水を用 いて はならない。

安 全一１

Ｎｏ．１０１００－２－０１－２

漏出時の措置 周囲の看火源 を取り除＜。１． 大量 の場合 漏洩した場所の周辺１こはローフ を 張るなどして 人 の

立入 りを 禁止ずる。作業の 際に は必ず保護 具を着用ず る。漏洩 し

た 液は士 砂などでその流れを止め、 安全な 場所１こ導い た後、 出 釆

る だけ空容 器１こ回収ずる。河川、 下水等 に排出され ないよ うに 注

意 ず る。

２． 少 量 の 場 合 １ 士 砂、 ウ エ プ 等 で 吸 看 さ せ て 空 容 器１こ 回 収 し、 そ の

後 を 完 全１こ ウ ェ フ 等 で 拭 い 取 る。

３． 海 上 の 場 合 １ オ イ ル フ エ ン フ を 展 開 し て 拡 散 を 防 止 し、 吸 着 マ ツ

ト等 で吸取る。薬剤を用 いる場合１こは運輸省 令で定め る技術 上 の

基準１こ適合したものでなければならな い。

取扱い及び 取扱 い： １． 指定 数量以 上の量を取り扱う場合に は、 法 で定 められた基準１こ満

保管上の注 意 足ずる製 造所、 貯蔵所、 取扱い所で行う。２．

炎、 火 花、 ま た は 高 温 体 と の 接 触 を 避 け る。 み だ り１こ 蒸 気 を 発 散

さ せ な い こ と。

３．

常 温 で 取 り 扱 う も の と し、 そ の 際、 水 分、 き ょ う 雑 物 の 混 八１こ 注

意 ず る こ と。

４．

静 電 気 対 策 を 行 い、 作 業 着、 靴 等 も 導 電 性 の 物 を 使 用 す る。

５． 石油製 品から発生した蒸気 は空気よ り重い ので滞留しやず い。 そ

の ため、 換 気および火気 などへの注意が必要 である。

６． 危険物が 残存している機械設備な どを修理ず る場合は、 安全な場

所１こ お い て 危 険 物 を 完 全１こ 除 去 し て か ら 行 う こ と。

７． 飲 ま な い で 下 さ い。

８． 皮 膚 に 触 れ た り、 眼１こ 入 る 可 能 性 が あ る 場 含 は、 保 護 具 を 着 用 ず

る 。

９． ミ プトガ発 生す る場 合、呼吸器 具等を使用 してミプトを 吸入 しな

い こ と 。

１Ｏ． 容 器から取 り出ずと きはポンプな どを使用ず ること。細 管を用 い

て 口 で 吸 い 上 げ て は な ら な い。

１１． 容 器 は 必 ず 密 栓 ず る こ と。

１２． 子 供 の 手 の 届 か な い 所１こ 董 ＜。

保 管 １ １． 直 射 日 光 を 避 け、 換 気 の 艮 い 場 所１こ 保 管 ず る。

２． 危 険 物 の 表 示 を し て 保 管 ず る。

３． 熱、 フ パ ー ク、 火 炎 並 び に 静 電 気 蓄 積 を 避 け る。

４． 保 管場所 で使用ずる電 気器具は、 防爆構造 とし、器具類 は接地ず

る。

５、 ハ ロ グ ッ 類、 強 酸 類、 ア ル カ リ 類、 酸 化 性 物 質 と の 接 触 並 び に 同

一場所での 保管を避 ける。

容器の取扱い： １． 空容 器に圧カをかけ ないこ と。圧力 をかけると 破裂ずることがあ

る 。

２．容 器 を 溶 接・加 熱・尺 あ け ま た は 切 断 し な い こ と。 爆 発 を 伴 っ て 残

留 物が 発火 ずることが ある。

暴露防止措 置 管理 濃度＝ 規定なし。 （作業環境評価 基準：労働省 告示第２６号、 平成７年．３．２７）

許 容濃度＝

日本産業衛生学 会 （１９９６年 度版） ３ｍｇ／ｍヨ （鉱油ミ ブトとして）

ＡＣＧｌＨ（１９９６～１９９７年度版）

時 間 荷 重 平 均 Ｔ Ｗ Ａ ５ｍｇ／ｍ３ （鉱 油 ミ フ ト と し て）

設備 対策： ミプトおよ び蒸気ガ発生ず る場合 は発生源 の密閉化、また は排気装置

を設ける。取 扱場所近辺１こ、洗眼 及び身体洗 浄のための設備 を設ける。

安 全一２

Ｎｏ．１０１００－２－０１－２

暴露防止措置 保 護 具 ：

呼吸用 保護具＝

保 護眼 鏡＝

保 護手袋：

保 護 衣 ：

通常必要がないが、 必要に応じて防毒マ フク（有 機ガフ用）を看用 ず

る。

飛沫が飛ぶ場合１こは 普通 型眼鏡を 看用ずる。

長期間または繰り返 し接触 ずる場含１こは耐油性の ものを看用する。

長時間１こわたり取扱う場合また は濡れる場含１こは耐油Ｉ性の長袖作業

服等を看用 ずる。濡 れた衣服は脱ぎ、完全１こ清浄してか ら再使用ず る。

物理／

化学的物質

外観等 淡黄色透明液体 臭い１わずかな石油臭

沸 点 ＝１６５℃／Ｏ．１㎜Ｈｇ 蒸 気 圧 １．３ｘ１ＯＩ２Ｐａ（５０ ℃） 揮 発 性 ： な し（常 温）

融 点 ： 該 当 せ ず 密 度 ＝Ｏ．８８ｇ／㎝

３（１５ ℃） 初 留 点 １ デ ー タ な し

溶解度 水：不溶 その他 データ なし 流 動点：一１５℃以下

危険性情報

（安定性・反 応』ｌＩ生）

弓１火点 ： ２００℃以上（ＣＯＣ）

発火点１ 測定データなし

爆発限 界： 上限１７％ 下限 ＝１％（推定値）

可燃性＝ あり

発火．１生（自然発火性、水との反応性）１ なし

酸化性： なし

自己反応 性・爆発性： なし

安定性： 安定

反応性： 強酸 化剤 との接触を避け る

有害な分解生 成物１ なし

有毒性情 報 （人につ いての 症例、 疫学的情報を含む）

皮膚腐食性： なし

刺激性 （皮膚、 眼） ：長期または繰 り返 し接触ずる場合刺激Ｉ１生ある恐れあり

感 作１性 ： デ ー タ な し

急性毒性（５０％致死 量等を 含む）：

経 ロ ラ ツ ト ＬＤ・ｌ１５ｇ／ｋｇ以 上（推 定 値）

亜 急性毒Ｉ１生＝ データなし

慢 性 毒１１１生 ： デ ー タ な し

ガ ン 原１■生：基 油 ：

ＯＳＨＡ に よ る言平 価 ＝ 使 用 し て い る 基 油 は、 高 度 精 製 基 油 で あ り、 ｌＡＲＣ

ではダループ３１こ分 類（ヒトに対して発がん性 に

ついて分類はできな い。）

ＥＵに よ る言平価 ： 発がん’ｌＩ生物質として の分類は適用され る必要 はな

い。 （基 油）

変異 原１１生（微生物、 染色体異常）：

データな し

生殖毒性＝ データなし

催 奇 形’性 ： デ ー タ な し

その他（水と 反応して有害なガフを発生ずる 等を含む）：

現在のとこ ろ有用 な情報なし

飲 む と 下 痢、 嘔口土す る 可 能，性 が あ る。

眼１こ八ると炎 症を起こず可能性が ある。

皮膚に触れると 炎症を起こず可 能Ｉ性が ある。… ブトを吸入ずると 気分が悪＜ なることがある。

環境影響情報 分解 性＝

蓄 積」性 ：

魚 毒性＝

そ の 他 ：

現在データなし

現在データなし

現在データなし

現在データなし

安 全一３

Ｎｏ．１０１００－２－０１－２

廃棄上の注 意 １．

２．

３．

４ ．

事業者は産業廃棄 物を自ら処理 ずるか、 また は知事等 の許可を受けた処理業者、 も し

＜は地方公共 団体がその処理 を行って いる場含にはそ こに委 託して処理ずる。

投棄禁止

埋立処分 を行う場 合１こは、 あ らかじめ焼却設 備を用 いて焼却 し、 その 燃殻１こっい て、

下記の物質が総理府 で定 めた基準値以 下であ ることを確認し なけれぱならない。

銅又はその 化合物、 亜鉛 又 はその化合物、 ふっ化物、 アル キル水銀 化合 物、 水 銀 又 は

その化合物、 ひ素又は その化舎 物、 六価ク ロム化 含物、 有 機りん化合物、 鉛又 はそ の

化 合 物、 カ ド ミ ウ ム 又 は そ の 化 含 物、 シ ア：ノ化 合 物、 ＰＣＢ。

燃焼ずる場 含は、 安全 な場 所で、 か つ、 燃焼ま たは爆 発１こよって 他に危 害ま た は損 害

を及ぽず 恐れのない方法 で行 うととも１こ、 見張り人 をつけること。

輸送上の注意

国連分 類番号及び国連番号 該当しない

１． 陸 上 輸 送

消防 法： 危険物

容器： 危険物の規制 に関ず る規則 別表３の２

金属 製 ドラム（２５０Ｌ）、 金属製容器（６０Ｌ）等

容 器 表 示 ： 一． 危 険 物 の 品 名 １ 第 四 石 油 類、 危 険 等 級 １１１、 潤 滑 油

二．数 量

三 火気厳禁

１）容器が著 しく摩 擦ま たは動 揺を起こ さないよう１こ運搬ずる こと。

２）指定数 量以上の危 険物を車 両で運搬ずる場 合は、 自治省令 で定 める

と こ う１こ よ り、 当言亥車 両 に 標 識 を 掲 け る こ と。 ま た こ の 場 含、 当言亥

危険物１こ該当ずる消火設備を 備える こと。 運搬時の重オコ積み高さ３ｍ

以 下 と ず る。

３）第一類 及び第六類の危険物及 び高圧 ガフとを混載 しないこと。

２． 海上輸 送及び航空輸送

船 舶安全法： 非危険物 個別運 送及びぱら積み 運送１こおいて

航 空法１ 非危険物

３． 注 意 事 項

引 火性液体なので ｒ火 気厳禁」

適用法令

労 働 安 全 衛 生 法 ・・・・・・・ ・・・・・・・ ・・…

Ｐ Ｒ Ｔ Ｒ 法 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …

化審法の既存化学物 質への登録

消 防 法 危 険 物 ・・・・・・・ ・・・… … …

水 質 汚 濁 防 止 法 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …

海 洋 汚 染 防 １上 法 ・・・・・・・・・… … ・…

廃棄物の処理及ぴ清掃１こ関す る法律

・ 既存化学物 質名簿への 収載、 通知対象物

・ 該 当 し な い

・ 第四類第四 石油類

・ 油分排出規制 （５㎎／１ 許容濃度）

ノ ル マ ル ヘ キ サ ン 抽 出 分 と し て 検 出 さ れ る。

・ 油 分排 出 規 制 （原 則 禁 止）

産業廃棄物規制 （拡散、 流出の禁止）

その他 （言己載内 容の間い合わせ先、 引用 文献等）

間 い 合 わ せ先 ：

弓１用 文 献 等：

取 扱 説 明 書 巻 末、 ｒ営 業， サ ー ビ プ 部 門 と そ の 連 絡 先」 参 照

１．

ＡＮＳｌ Ｚ １２９．

１－１９９４ Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄｓ 」ｎｓｔｉｔｕｔｅ （米 国 規 格 協 会）

新 絵 で 見 る 中 毒１１０番 （保 険 同 人 社）

許 容 濃 度 の 勧 告（１９９６） 巳 本 産 業 衛 生 学 会 産 業 医 学 ３８巻Ｐ．１７２－１８３

Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄｓ ｌｉｍｉｔ ｖａｌｕｅｓ ｆｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｕｂｓｔａｎｃｅｓ ａｎｄ ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ ｅｘｐｏｓｕｒｅ

ｉｎｄｉｃｅｓ．ＡＣＧｌＨ（１９９６－１９９７）

５．

ｌＡＲＣ ＭＯＮＯＧＲＡＰＨＳ ＯＮ ＴＨＥ ＥＶＡＬＵＡＴｌＯＮ ＯＦ ＴＨＥ ＣＡＲＣｌＮＯＧＥＮｌＣ ＲｌＳＫ ＯＦ ＣＨＥＭｌＣＡＬＳ

ＴＯ ＨＵＭＡＮＳ ＶＯＬＵＭＥ ３３

ＥＣ理 事 会 指 令 「６７／５４８／ＥＥＣ」 の付 属 書 １ ｒ危 険 な 物 質 リ フ ト」

製 晶 安 全 デ ー タ シ ー ト の 作 成指 針（日 本 化 学 協 会）

安 全一４

Ｎｏ．１９００６－２－０２－１

（別紙） 化学物質安全データシート（ＭＳＤＳ）

この ポンブを運転 ずる上 で、 使用ま たは、 触る可能性のあ る化学物 質を紹 介して いま ず。

ＭＳＤＳに 記 載 さ れて い る 有 害 特 性 を 理 解 して 頂 ＜ た め に、 良 ＜ 読 ん で 下 さ い。

△ 注意ＭＳＤＳは、 危険有害な化 学物質 について、 安全な取扱 いを確 保す るため の参 考情報と

し て、 提示 す る も の で す。 ポ ン プ 油 を 取 り 扱 う 方 は、 こ れ を 参 考 と して、 自 ら の 責

任 において、 個々 の取扱 い等 の実態に応 じた適切な処 置 を講 ずる こと が必要 である

こ と を 理 解 した 上 で、 活用 さ れ る よ う お 願 い し ま す。 従 っ て、 こ のＭＳＤＳそ の も の は、

安 全の保証書ではありませ ん。

【別表】 化学物質 安全データ シート 真空ポン プ油 Ｒ－７

製 晶 名 Ｒ－７

主用 途 油回転真空 ポンブとその補 器及び ルーツ真空ポンブ

物 質の特 定 単’製晶 混含物の区別： 混合物

化学名： 石油系炭化水素及び添加物

成分及び含有量： 潤滑油基油９５質量％以 上、 潤滑油添加剤 ５質量 ％以下

化学式また は構造 式１ 特定できない

官報 公示整理番号： 企業 秘密なので記載できない。

Ｃ Ａ Ｓ Ｎ ｏ ： 企 業 秘 密 な の で 記 載 で き な い。

国連分類及び国連番号 該当 しない。

労働安全衛生法 鉱油 ９０～１ ００％

Ｐ Ｒ Ｔ Ｒ 法 ： 非 該 当

危 険有害性 分類の名称： 分類基準１こ該当 しない。

の分類 主な危険有 割生は次の通 りである。

危険性： 消防法 危険物 第四 類第四 石油類

有害性： 現在迄のところ有用な情報 なし。

環境景ｉ響１ 現 在迄のところ有用な情報なし。

応急処 置 目１こ八った 場合： 清 浄な水で十分１こ眼を洗浄した後、 医師の手当てを受 ける。

皮膚 に付着 した場合１水 と石鹸で付着した部分を洗う。

吸八した場合： 新 鮮な空気の場所１こ移 ず。 身体を毛布 などで被い、 保温して安静１こ保

ち、 必 要 な ら 医 師 の 手 当 て を 受 け る。

飲み 込ん だ場合＝ 無理１こ□士かせないで、 直ちに医師の手当てを受 ける。 口の中が汚染さ

れ て い る 場 合 に は、 水 で 充 分 に 洗 う こ と。

火災時の措置 消火方法１ １． 火元への燃焼源 を断っ。

２． 初 期 の 火 災 に は、 粉 末、 炭 酸 ガ プ 消 化 剤 を 用 い る。

３、 大 規模火災の際に は、 泡消化剤 を用いて空 気を遮 断ずること が有

効 で あ る。注 水 は、 火 災 を 拡 大 し て 危 険 な 場 合 が あ る。

４、 周 囲 の 設 備 な ど に 散 水 し て 冷 却 ず る。

５． 消 火 作 業 の 際 に は、 風 上 か ら 行 い 必 ず 保 護 具 を 看 用 ず る。

６． 火災発生場所の周辺１こ関係者以 外の立入りを禁止ず る。

消 化 剤 １ 霧 状 の 強 化 液、 泡、 粉 末、 ま た は 炭 酸 ガ ブ 消 化 剤 が 有 効 で あ る。 消 化

に 棒 状 の 水 を 用 い て は な ら な い。

安 全一１

Ｎｏ．１９００６－２－０２－１

漏出日寺の措置 周囲の看 火源を取り除＜。

１． 大量の場 合 漏洩した 場所の周辺１こはローフ を張るなど して 人 の

立八 りを禁止ずる。 作業の 際１こは必 ず保護 具を着用 する。漏 洩 し

た液 は士砂なとでその流 れを止め、 安全な場所１こ導いた後、 出 来

るだ け空 容器１こ回収する。 河川、 下水道等１こ排出されないよ う に

注 意 ず る。

２． 少 量 の 場 合 ： 士 砂、 ウ エ プ 等 で 吸 看 さ せ て 空 容 器 に 回 収 し、 そ の

後 を 完 全１こ ウ ェ プ 等 で 拭 い 取 る。

３． 海 上 の 場 合 ： オ イ ル フ エ ン フ を 展 開 し て 拡 散 を 防 止 し、 吸 看 マ ッ

ト 等で吸取る。薬剤 を用 いる場合に は運輸省 令で定め る技術上 の

基 準に適合したもの でなければならない。

４． 漏 出 時 は、 事 故 の 未 然 及 び 拡 大 防 止 を 図 る 目 的 で、 速 や か に 関 係

機 関１こ 通 報 ず る。

取扱い及び 取扱い１ １． 指定数量以上 の量を取り扱う 場合 には、法で定 められた基準 に 満

保管上の注 意 足する 製造所、 貯蔵所、 取扱い所 で行 う。

２． 炎、 火 花、 ま た は 高 温 体 と の 接 触 を 避 け る と と も１こ、 み だ り１こ 蒸

気を発散させ ないこと。

３． 常 温 で 取 扱 う も の と し、 そ の 際、 水 分、 き よ う 雑 物 の 混 入 に 注 意

ず る。

４． 静 電 気 対 策 を 行 い、 作 業 着、 靴 等 も 導 電 性 の 物 を 使 用 ず る。

５． 石油製 品から発生した 蒸気は空気より重いの で滞留しやず い。 そ

の ため、 換気および火 気等への注意が必要である。

６． 危険物が 残存している機械 設備等を修理又は加工ずる場合 は、 安

全 な場所において危険物 を完 全１こ除去して から行う。

７． 飲 ま な い で 下 さ い。

保 管 ： １． 直 射 日 光 を 避 け、 換 気 の 艮 い 場 所１こ 保 管 す る。

２． ハ ロ グ ン 類、 強 酸 類、 ア ル カ リ 類、 酸 化 性 物 質 と の 接 触 並 び１こ 同

一場所 での保管を避ける。

容 器 の 取 扱 い ： １．

空 容 器１こ 圧 力 を か け な い こ と。 圧 カ を か け る と 破 裂 ず る こ と が あ

る 。

２． 容 器 を 溶 接・加 熱・尺 あ け ま た１は 切 断 し な い こ と。 爆 発 を 伴 っ て 残

留物が発火 することが ある。

暴 露 防 止 措 董 管 理 濃 度 ： 規 定 な し。 （作 業 環 境 評 価 基 準 ： 労 働 省 告 示 第２６号、 平 成７年．３．２７）

許容濃度：

目本産業衛生学 会 （１９９８年度版） ３ｍｇ／ｍ３（鉱油ミ フトと して）

ＡＣＧｌＨ（１９９８年 度版）

時 間 荷 重 平 均 Ｔ Ｗ Ａ ５ｍｇ／ｍ３

（鉱 油 ミ フ ト と し て）

設備対策１ ミ フトガ発生ずる場含 は発 生源の 密閉化、 また は排気装置を 設ける。

取扱場所近 辺１こ、 洗眼及び身体洗 浄のた１めの設備を設ける。

保 護 具 ＝

呼吸用保 護具１ 必要に応 じて 防毒マプク（有機 ガブ用）を 着用ず る。

保 護眼鏡１ 飛沫が飛ぶ場 合には普通 型眼鏡を看用ず る。

保護 手袋： 長期間また は繰り返し接触する場合１こは 耐油性の ものを着用ずる。

保 護衣＝ 長時間にわた り取 扱う場 舎または濡れる場合１こは耐油性の長袖作業

服 等 を 看 用 ず る。濡 れ た 衣 服 は 脱 ぎ、 完 全１こ 清 浄 し て か ら 再 使 用 ず る。

安 全一２

Ｎｏ．１９００６－２－０２－１

物理科 学的 外観等二淡黄色透明液 体

揮 発 性 ： な し 密 度 ：Ｏ．８８ｇ／ｃｍ

ヨ（１５ ℃） 初 留 点 １２５０℃ 以 上

溶 解 度 水 ： 不 溶 流 動 点 ：一１２．５℃ 以 下

危険性情報 引火点： ２００℃以上（ＣＯＣ）

（安定性 発火点＝ 測定データな し

・反応」性） 爆発限界１ 上限：７容量％ 下 限１１容量％（推定値）

可燃性： あり

発火性（自然発 火性、水との反 応性）： な し

酸化性＝ なし

自 己 反 応 性・爆 発 性 ： な し

安定性＝ 安 定

反応性： 強酸 化剤と の接触を避ける

有毒性情報 （入１こついて の症例、 疫学 的情報を含む）

皮層腐食性１ な し

刺激性 （皮膚、 眼） 長期または 繰り返し接 触ずる場合 刺激性ある恐れあり

感 作 性 ＝ デ ー タ な し

急性毒性（５０％致死量 等を含む）１

経 ロ ラ ッ ト ＬＤ靱１５ｇ／ｋｇ以 上（推 定 値）

亜 急 性 毒一性 ： デ ー タ な し

慢」性 毒 性 ＝ デ ー タ な し

ガン 原性 ： 基油 ＝

ＯＳＨＡｌこ よ る 評 価：使 用 さ れ て い る 基 油 は、 高 度 精 製 基 油 で あ り、ｌＡＲＣ

で は ダ ル ー ブ３１こ 分 類（ヒ ト に 対 し て 発 な ん 性１こ

つ い て 分 類 は で き な い。 ）

ＥＵｌこよ る 評 価：使用されて いる基油は発がん 性物質としての分類 は

適用される 必要はない。 （基油）

添 加 剤 １ デ ー タ な し

変異原性（微生物、 染色体異常）１

データなし

生殖毒性： データなし

催奇形性１ データなし

その他（水と反応して有害 なガフを発生 ずる等を含む）：

現在のところ有用な情報 なし

飲 む と 下 痢、 嘔口土 ず る 可 能 性 が あ る。

眼に入ると 炎症を起こず可 能性が ある。

皮膚１こ触れる と炎症を起こず可能性がある。

ミ フトを吸 八ずると気分が悪＜なることがある。

環境影響情報 分解性： 現 在迄のところ有用な情報な し。

蓄 種性： 現 在迄のところ有用 な情報なし。

魚毒性： 現 在迄のとこう有用 な情報なし。

その他１ 現 在迄のところ有用 な情報なし。

安 全一３

Ｎｏ．１９００６－２－０２－１

廃棄上の注意 １．

２ ．

４ ．

事業者は産 業廃棄物を自 ら処理ずるか、 また は知事等の許可を受けた 処理業者、 も し

＜ は地方公 共団体がその 処理を行っている場合 にはそこ１こ委託して 処理ず る。

投棄禁止

３． 埋立 処分を 行う場合には、 あ らか じめ 焼却 装置を用いて 焼却 し、 その 燃 殻に っ い

て は、 「廃 棄物の処理及 ぴ清掃に関 ずる法 律施行 令」１こ定め られ た基準以 下 であ る こ

とを確 認しな けれぱならない。

燃焼 ずる場 含は、 安全な場所 で、 かつ、 燃 焼ま たは爆発に よって他 に危害ま た は損 害

を及 ぽず 恐れのな い方法で行うととも１こ、 見張り入 をつけ ること。

輸送上の注意

１． 運 搬１こ 際 し て は、 容 器１こ 漏 れ の 無 い 事 を 確 か め、 転 倒・落 下・損 傷 が な い よ う、 積 み 込

み・荷 崩 れ の 防 止 を 確 実 に 行 う。

２、 運 搬 時 の 積 み 重 ね 高 さ は３ｍ 以 下 と ず る。

３． 第 一類及び第 六種の危 険物及 び高圧 ガフとを混 載しない。

適用法令

イヒ審法 及び安衛法の既 存科学物質名簿への 登録

消 防 法 危 険 物 ・… … ・ … １・・ … ・・

水 質 汚 濁 防 止 法 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ … 一 ・ …

海洋汚染防止法・… … … … ……

下水道法 …・

廃棄物の処理 及び清掃に関ずる法律・

安 衛 法 ・・ … ・・ … ・・ … ．、．．．．． ＿ ．．

・ 第 四類第四石油 類

・ 油 分 排 出 規 制 （５ｍｇ／１ 許 容 濃 度）

ノ ル マ ル ヘ キ サ ン 抽 出 分 と し て 検 出 さ れ る。

・ 油分排 出規制 （原則禁止）

・ 産業廃棄 物規制 （拡散、 流出の 禁止）

・ 通 知 対 象 物 質

その他 （記載内容の問い合わせ 先、 引用文献等）

問い合 わせ先 ： 取扱説明書巻 末、 ｒ営業， サー ビフ部門とその連絡先」 参照

引 用 文 献 等 ： １． ＡＮＳｌ Ｚ １２９．１－１９９４ Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄｓ ｌｎｓｔｉｔｕｔｅ．

格協会）

５．

（米国規

新絵で見る 中毒１１０番 （保険同入 社）

許容濃度の勧告（１９９８） 日本産 業衛生学会 産業医学 ３８巻Ｐ．１７２－１８３

Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄｓ ｌｉｍｉｔ ｖａｌｕｅｓ ｆｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｕｂｓｔａｎｃｅｓ ａｎｄ ｐｈｙｓｉｃａｌ ａｇｅｎｔｓ

ａｎｄ ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ ｅｘＰｏｓＵｒｅ ｉｎｄｉｃｅｓ，ＡＣＧｌＨ（１９９８）

ｌＡＲＣ ＭＯＮＯＧＲＡＰＨＳ ＯＮ ＴＨＥ ＥＶＡＬ∪ＡＴｌＯＮ ＯＦ ＴＨＥ ＣＡＲＣｌＮＯＧＥＮｌＣ ＲｌＳＫ ＯＦ

ＣＨＥＭｌＣＡＬＳ ＴＯ ＨＵＭＡＮＳ ＶＯＬＵＭＥ ３３

ＥＣ委員会指令 ｒ６７／５４８／ＥＥＣ」 の 付属書」 ｒ危 険な物 質リフト」

製 品安全データシートの作成 指針（日本化学 工業協会）

安 全一４

使 用 状 況 チ ェ ッ ク シー ト（取説用）

（分 解修理依頼の場合使用）

修理作 業者の安全管理のため、 下記項目ご記入の上依頼品 に添付して下さ い。

ご記 入日 年 月 日

お客様名

ご担当者名

Ｔ Ｅ Ｌ 内線

ご購 入 先

ご担 当者名

Ｔ Ｅ Ｌ 内線

型式名 製造番号

１． 修 理 依 頼 理 由

□ 故障

下記 よ り お選 び 下さ い。

状況 口異 常音がする。

□その他

口圧力不良 口作動不良

□ 定 期 点 検・修 理

□そ の他

２． 吸引 ガス

（１） 人 体 に有害性の有無

（２） ガスの 種類・名 称

使用 時問 約

あり な し

３．

４．

５．

Ｈ ｒ □ ２ ４ Ｈｒ連 続 運 転 口間欠運 転

そ の他

ご依頼内容 口 事前見 積りを行ない修理依頼を検討した い。

□予算内 （ 円） なら即修理せ よ。

□その他

本用紙 をコ ピーして 繰り返 しご使用下さ い。

本用 紙 が添付 されていない場合、 修理点検 をお受けでき ないこと があります。