>>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. [email protected] Solid State Physics GroupPUCP...

30
>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. [email protected] Solid State Physics Group PUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras de un amplio ancho de banda dopadas con tierras raras

Transcript of >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. [email protected] Solid State Physics GroupPUCP...

Page 1: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

M.Sc. Guerra J. A.

[email protected]

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Caracterización de películas delgadas semiconductoras de un amplio ancho de banda dopadas con tierras raras

Page 2: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Películas delgadas

Sustrato

Película d [nm]

t [mm]

d << t

Page 3: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

¿amplio ancho de banda?

Page 4: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

bandas

e

rBrA

A BR ∆E/2

∆EA

B

enlazamiento

anti-enlazamiento

Posición

En

erg

ía

Ci

… ……

e

rBrA

A BR

Page 5: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

ancho de banda(energía de banda prohibida)

b.c.

b.v.

conductores

En

erg

ía

aislantes &

semiconductores

Page 6: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

tierras raras

Page 7: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

nc-AlN:Lh3+¿Por qué?

R. Weingärtner, O. Erlenbach, A. Winnacker, A. Welte, I. Brauer, H. Mendel, H.P. Strunk, C.T.M. Ribeiro and A.R. Zanatta, Opt. Mater. 28 (2006), p. 790.

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 8: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

¿Por qué amplio ancho de banda?

Solid State Physics GroupPUCP 2012

• «Quenching» por:• ancho de banda• temperatura• concentración

• Transparencia

material dopado excitación & emisión

Page 9: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

R. Weingärtner J. A. Guerra, O. Erlenbach, G. Gálvez, F. De Zela, A. Winnacker, 2010 Mater. Sci. Eng. B, 174 114-8

Ingeniería del ancho de banda

a-(SiC)1-x(AlN)x

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 10: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Al1-xGaxN:Tm

D S Lee and A J Steckl 2003 Enhanced blue emission from Tm-doped AlxGa1-xN electroluminescent thin films Appl. Phys. Lett. 83 2094

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 11: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 12: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Deposición & Caracterización

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 13: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

pulverización catódica

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 14: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

pulverización catódica

Solid State Physics GroupPUCP 2012

G. Gálvez, O. Erlenbach, J. A. Guerra Torres, T. Hupfer, M. Steidl, F. De Zela, R. Weingärtner, A. Winnacker, Materials Science Forum Vols. 645-648 (2010), 1199-1202

Page 15: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 16: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Foto-luminiscencia (PL)

Espectrofotometría UV-VIS

Espectroscopía vibracional (FTIR)

Solid State Physics GroupPUCP 2012

caracterización óptica

Page 17: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Foto-luminiscencia (PL)

I(λ)excI(λ)PL

Energía de excitación

Muestra

Señal

• defectos

• Tiempo de vida de portadores de carga (TRPL)

• Impurezas

e-

b.c.

b.v.

Page 18: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Espectro PL

500 525 550 575 600 625 650 675 7000

1

2

3

4

5

Quar

tz s

ubst

rate

Ram

man

Si su

bst

rate

Ram

man

PL Inte

nsi

ty x

104 (

a.u.)

Wavelength (nm)

5D4-

7F3

(621

.28

nm

)

5D4-

7F4

(595

.47

nm

)5D

4-7F

4 (5

84.5

6 nm

)

5D4-7F5 (550.07 nm)

5D4-7F5 (541.95 nm)

a-SiC:H:Tb 1.9% a-SiC:H a-SiC

500 525 550 575 600 625 650 675 7000

1

2

3

4

5

Quar

tz s

ubst

rate

Ram

man

Si su

bst

rate

Ram

man

PL Inte

nsi

ty x

104 (

a.u.)

Wavelength (nm)

5D4-

7F3

(621

.28

nm

)

5D4-

7F4

(595

.47

nm

)5D

4-7F

4 (5

84.5

6 nm

)

5D4-7F5 (550.07 nm)

5D4-7F5 (541.95 nm)

a-SiC:H:Tb 1.9% a-SiC:H a-SiC

Solid State Physics GroupPUCP 2012

λexc = 488 nm

Page 19: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

a-SiC:H:Tb

Solid State Physics GroupPUCP 2012

SiC120W

Tb50W

Sustrato

Película

Objetivos

1% 11%Tb%

Page 20: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

PL a-SiC:H:Tb

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 21: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

PL a-SiC:H:Tb

Solid State Physics GroupPUCP 2012

J. A Guerra, et al., Concentration Quenching of the Luminescence from several Terbium doped Matrix Materials, Submitted to EDS-2012.

Page 22: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Simulaciones (Percolación)

Solid State Physics GroupPUCP 2012

0 3 6

0.0

0.4

0.8

1 1.5 2

Nor

mal

ized

Inte

nsity

Impurity concentration

Page 23: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Espectrofotometría UV-VIS-NIR

Su

stra

to

Pel

ícu

laI0(λ) IT(λ)

IR(λ)

IA(λ)

I0= IT +IA+IR

1= T+A+R

T(λ)= IT/I0

¡Esto es lo que medimos!

Page 24: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

Espectrofotometría UV-VIS-NIR

250 500 750 1000 1250 1500 1750 2000 22500

20

40

60

80

100

Tran

smis

sion

(%)

Photon wavelength (nm)

c-Si a-Si a-Si:H a-SiN

Cortesía de A.R. Zanatta, IFSC-USP, Brasil

Page 25: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

d = 356.14 ± 0.13 nm

0.0

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

Measurement Fit

Tra

nsm

issio

n

300 600 900 1200 1500 1800 2100

0

4

8

12

16

Calculated

x10

4 ( c

m-1)

wavelength (nm)

a-(SiC)0.53(AlN)0.47

Extracto de la tesis de maestría de J. A. Guerra

Page 26: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

a-(SiC)1-x(AlN)x

R. Weingärtner J. A. Guerra, O. Erlenbach, G. Gálvez, F. De Zela, A. Winnacker, 2010 Mater. Sci. Eng. B, 174 114-8

Page 27: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>Solid State Physics GroupPUCP 2012

1 2 3 4 5 6 70

2

4

6

8

10

12

14

UF AG 200 300 400 500 600 700

x1

04 ( c

m-1)

Photon Energy (eV)

2 = 0.9919

0 = 9321.202 ± 179.712 cm-1 eV-1

E0 = 6.002 ± 0.015 eV

AG200 400 600 8006

7

8

9

10

1/

x10

-1 ( e

V)

Temperature (°C)

J A Guerra, L Montañez, O Erlenbach, G Galvez, F De Zela, A Winnacker, R Weingärtner, 2011 J. of Phys. Conf. Series 274 012113

AG 200 300 400 500 600 700 8003

4

5

6

7

E( E)2

ECU

ETauc

Bandgap (eV

)

Temperature (°C)

a-AlN

Page 28: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

•SiC:H

•SiCN

•(SiC)1-x(AlN)x

•Si1-xNx

•AlxSi1-xN

Solid State Physics GroupPUCP 2012

¿Qué es lo que hacemos entonces?

Caracterizamos Aplicaciones

Page 29: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Miembros actuales en el grupo

Lider

Doctorado

IngenieríaCiencias

Maestría

Pregrado

Graduados

Colaboradores

Solid State Physics GroupPUCP 2012

Page 30: >>0 >>1 >> 2 >> 3 >> 4 >> M.Sc. Guerra J. A. guerra.jorgea@pucp.edu.pe Solid State Physics GroupPUCP 2012 Caracterización de películas delgadas semiconductoras.

>> 0 >> 1 >> 2 >> 3 >> 4 >>

Gracias, y lancen sus preguntas

Grupo de Ciencias de los MaterialesPUCP 2011