IPA 蒸気洗浄装置TAKADA IPA Vapor Drier TID Series

□ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の

□ デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず

せ

自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策

□豊富な納入実績

高純度の IPAを用いたクリーン乾燥が可能

TAKADA IPA Vapor Drier

装　置　仕　様

用　途

装置寸法

IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥

６インチ　１カセット相当

シリコン、ガラス、部品等

ステンレス製蒸気乾燥槽１層

幅 1,050(mm)×奥行 1,200(mm)×高さ 2,000(mm)

アルミヒートブロック間接加熱方式

WP-LF-TID-001- 31-March./2016■仕様は予告なく変更することがあります。■本シートを無断で複製することを禁じます。

装置事業部〒806-8567 福岡県北九州市八幡西区築地町２-１TEL(093)632-2600 FAX(093)632-2625http://www.takada.co.jp/usw/maiyo.html

●材質や形状を問わず、高純度 IPAを用いたクリーン乾燥が可能です●実績が示す万全の安全対策●オールステンレスにより破損の危険性を排除●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出し IPAを削減●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です

◆IPA 比抵抗計もご用意しております（オプション）

乾燥対象

槽構成

シ ス テ ム フ ロ ー