Circuitos_integrados
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Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Vi(t) Vo(t)
Circuito electrónico discreto Circuito integrado
Circuitos integrados: Escala de integración
SSI(Small Scale Integration)Un único chip incluye entre 1 y 10 puertas básicasEjemplo: biestables
MSI (Medium Scale Integration) Un único chip incluye entre 10 y 100 puertas básicasEjemplo: decodificadores, contadores, multiplexores
LSI (Large Scale Integration) Un único chip incluye entre 100 y 10000 puertas básicasEjemplo: memorias y algunos microprocesadores
VLSI (Very Large Scale Integration) Un único chip incluye entre 10000 y 100000 puertas básicasEjemplo: microprocesadores, memorias
ULSI (Ultra Large Scale Integration)Un único chip incluye más de 100000 puertas básicas
Ejemplo: memorias de gran capacidad
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Símbolo
Tecnología Bipolar --> Transistores Bipolares
Esquema circuital
Sección del circuito integrado
EmisorBase
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Tecnología MOS --> Transistores Mosfet
Símbolo
Esquema circuital
Sección del circuito integrado
Vdd
VinVout
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados
Lingote de Silicio Obleas de Silicio
Pasos para transferencia del diseño a la oblea
Oblea de Silicio con diseño de
CI´s transferido
Dados de SilicioTest dados de Silicio
Encapsulado del chip
Test final
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados Elaboración del substrato
Método Czochralsky
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados Realización de capas activas
Difusión TérmicaHorno
Dopante
Portaobleas
Implantación Iónica
Crecimiento Epitaxial
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados Definición de la geometría de los
componentes
Proceso de fotolitografía
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados Deposición de materiales
• Pulverización Catódica o Sputtering
Alto vacío
Porta substratos
Oblea
Ar+
- - - - - - -
Ar+ Ar+
Campanade cuarzo
Tecnología de circuitos integradosTecnología de circuitos integrados
Proceso de Fabricación de Circuitos Integrados Transistor MOSFET con tecnología de
puerta de polisilicio
Substrato tipo pOxidación de la oblea
Substrato tipo p
Grabado del óxido gruesoSubstrato tipo p
Crecimiento del óxido depuerta
Substrato tipo p
Deposición y grabado delpolisilicio
Substrato tipo p
Implantación de lasregiones de fuente ydrenador
N+ N+
Substrato tipo p
Oxidación y apertura decontactos
N+ N+
Substrato tipo p
MetalizaciónN+ N+