BTACORA ENCENDIDO Y APAGADO DEL MAGNETRON
SPUTTERING UNICAUCA
1. Abrir flujo de agua. No mucho para que no empiece a gotear.
2. Asegurarse de las conexiones elctricas.
3. Encender el equipo (Perilla roja en 1 y todos los breques arriba).
4. Empiezo a hacer vaco con la bomba mecnica, en la parte trasera, hasta llegar a una
presin de 2x100 o por media hora. Para encender oprimir 1.
5. Se continua haciendo vaco con la TURBO. Se oprime el botn que se muestra en la
grfica. Se deja haciendo vaco ms o menos por media hora.
6. Se coloca la turbo a un 70%, oprimiendo el botn que se muestra a continuacin.
7. Se enciende el RF, como se muestra a continuacin.
8. Se enciende el horno, oprimiendo el botn ROJO.
9. Para variar la temperatura se mueven las perillas al lado del botn rojo, para variar voltaje y
corriente, respectivamente. En mi caso, para alcanzar 500 C, la perilla de la derecha se
mueve hasta 7 aproximadamente, y la perilla de la izquierda, hasta 1 aproximadamente.
10. Antes de abrir el flujo de Argn, hay que verificar que la vlvula del cilindro del magnetrn
est cerrada, en la perilla que se muestra a continuacin.
11. Se abre la llave de la pipa de Argn, luego la llave del flujmetro.
12. Se abre el paso de la vlvula (que se muestra a continuacin) hasta que el medidor (que se
muestra al lado) llegue hasta 2-8x10-1
mbar, se espera 5 minutos.
13. Se enciende el RF, oprimiendo la parte superior del botn que se muestra a continuacin
con la flecha roja.
A continuacin se oprime el botn que se muestra con la flecha roja (que alumbre verde).
14. Ahora para encender el plasma, se lleva a 9 Watts de la perilla que se muestra con la flecha
roja que se muestra a continuacin..
Moviendo la perilla del flujo de argn (abrirla bastante y cerrarla nuevamente).
Luego que ha prendido el plasma, se coloca la presin de trabajo que se necesita, en mi caso
8x10-3
mbar, y se cuida que la potencia reflejada sea cero, o por lo menos muy cercana a
cero.
15. Cuando ya se ha hecho pre-sputtering y se ha alcanzado la temperatura de trabajo, se quita
el shootter.
16. Se mantiene la deposicin por el tiempo necesario, en mi caso 1 hora. Se debe estar
pendiente de que la potencia reflejada siempre sea cero (o por lo menos muy cercana), que
la temperatura sea la necesaria y que la presin de trabajo se mantenga constante.
17. Cuando se termina la deposicin se cierra el shooter y se procede a apagar el equipo como
se indica a continuacin.
a. Se baja a cero la frecuencia (con la perilla que se muestra con la flecha violeta), se
oprime el botn que se muestra con la flecha roja y se apaga de la parte trasera (0).
b. Se cierra el flujo de gas, primero de la perilla del cilindro del magnetrn, luego de
la pipa y el flujmetro.
c. Unos 15 minutos despus se apaga el vaco, primero la turbo del botn que se
muestra a continuacin, y despus la mecnica, de la parte trasera.
d. Se apaga el horno, colocando primero en cero el voltmetro y el ampermetro y
oprimiendo el botn verde.
e. Cuando se alcanza la temperatura ambiente, se cierra, por ltimo, el flujo de agua y
se apaga de la perilla roja (0) y se bajan los breques.
NOTAS.
1. Tenga en cuenta que si se va el agua debe apagar (como se indica arriba) inmediatamente
el equipo.
2. Si ya est depositando la pelcula y se va la energa elctrica es mejor que cambie de
probeta y vuelva a empezar (para lo cual debe esperar que el equipo se enfre).
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