真空

251

特許第4796891号

注文形式(例)

RPV06①

2-60②

T200③

30⑤

6⑥

⑤. 排気側継手適用チューブ外径（㎜）

組合せø10（*1） ø12

ø16（*2）

記　号

ワンタッチ継手 ストレート 30 32 36エルボ 40 42 46

締付継手 ストレート C0 D0 C2 D2 C6 D6適用チューブ内径（㎜）ø6.5 ø7.5 ø8 ø9 ø11 ø13

継手不要（*3） 無記入*1. RPV064-120を選択の場合、ø10mmは選定できません。*2. RPV06A-40を選択の場合、ø16mmは選定できません。*3.②シリンダ連数・接続方式ーモータ出力の組合せにより、ロータリ真空ポンプ本体の継手接続ネジサイズが異なりますので、下の表ー 1を参照ください。

③. モータ種類記　号 S100 S100SW T200 V200

種　類 単相 100Vインダクションモータ

単相 100V、電源スイッチ搭載インダクションモータ

三相 200／220／230Vインダクションモータ

三相 200Vインダクションモータ

RPV06A-40 ○ ○ ○ ーRPV062-60 ○ ○ ○ ーRPV063-90 ー ー ○ ーRPV064-120 ー ー ー ○* S100SWタイプは、電源コード（2m）、変換プラグ、管型ヒューズ（5A）が付属します。

①．ロータリ真空ポンプ　シリーズ

④. 吸気側継手適用チューブ外径（㎜）

組合せø10（*1） ø12 ø16

記　号

ワンタッチ継手（*3）

ストレート 10 12 16エルボ 20 22 26

締付継手 ストレート A0 B0 A2 B2 A6 B6適用チューブ内径（㎜）ø6.5 ø7.5 ø8 ø9 ø11 ø13

継手不要（*2） 無記入*1. RPV064-120を選択の場合、ø10mmは選定できません。*2.②シリンダ連数・接続方式ーモータ出力の組合せにより、ロータリ真空ポンプ本体の継手接続ネジサイズが異なりますので、下の表ー 1を参照ください。

*3.ワンタッチ継手は、漏れを許容しています。使い勝手上問題が有る場合は、締付継手をご使用ください。

12④

⑥. 排気クリーナ（及び継手）適用チューブ外径（㎜）

組合せø10（*1） ø12 ø16

記　号

排気クリーナのみ 0排気クリーナ＋ストレート継手 5排気クリーナ＋エルボ継手 6排気クリーナ、継手共に不要 無記入

*1. RPV064-120を選択の場合、ø10mmは選定できません。*2. RPV06A-40を選択の場合、ø16mmは選定できません。*3.継手付を選択しますと排気側継手と同径の継手が設定されます。*4.排気クリーナの継手接続ネジサイズは、Rc1/2となります。

ロータリ真空ポンプ業界トップレベルの高効率を実現した特殊ロータ形状真空ポンプ

②. シリンダ連数・接続方式ーモータ出力記　号 2-60 3-90 4-120 A-40

組合せ 2連・並列接続60Wモータ

3連・並列接続90Wモータ

4連・並列接続120Wモータ

2連・直列接続40Wモータ

到達真空圧力（50㎐／60㎐）（Pa abs）

≦3,500／≦3,000 ≦350／≦300

到達真空圧力（50㎐／60㎐）（kPa G）

≦-97.8／≦-98.3 ≦-100.95／≦-101.0

●表ー1. 吸気ポート及び排気ポートの継手接続ネジサイズ接続ネジサイズ

形　式吸気ポート 排気ポート

G3/8 G1/2 G1/4 G3/8RPV06A-40□ ○ − ○ −RPV062-60□ − ○ − ○RPV063-90T200 − ○ − ○RPV064-120V200 − ○ − ○

注）.本製品は、モータへの電源配線が付属しません。（電源スイッチ搭載タイプは除く）モータへの配線は、製品添付のモータ取扱説明書及び注意事項をご覧いただき、適正に行ってください。

06

ロータリ真空ポンプ

真空ポンプ

排気クリーナ

真空レギュレータ

真空ポンプシステム対応ユニットVNP

真空タンク

真空破壊用電磁弁

真空供給用電磁弁

エレメント

真空破壊エア流量調整ニードル

圧力センサ真空用フィルタ

真空用フィルタ必需品

※周囲への油分拡散や摩耗粉飛散を嫌う各種真空装置

252

特　長

用　途

吸着搬送に使用した場合の回路図（例）

省エネ対応。モータ定格出力1［W］当たりの排気速度において業界トップクラスの高効率を実現。　⇒1.0／1.2［排気速度（ℓ／ｍｉｎ）／モータ定格出力（W）］（50／60㎐）月額電気料金：約1,650円と他社同等品に比べ、約46%のコスト削減を実現。（弊社調べ。RPV062-60T200にて24時間稼働の場合。各電力会社の契約内容により増減する可能性がありますので、あくまで参考値となります。）

吸着搬送 真空包装 脱泡・脱気 真空成形 その他

軽量・小形。特殊ロータ形状の採用により、省スペース化を実現。最大質量：10.5㎏、最大寸法：125㎜（W）×397.6㎜（D）×181㎜（H）（120ℓタイプ：RPV064-120V200の場合）（小形なので、場所を選びません。）

低発熱。強制空冷式を採用し、低発熱を実現。マグネットカップリングの採用により、回転軸シール摺動が無く、シールによる発熱無く、他社同等品に比べ約20℃低く保てます。（弊社調べ。）室内温度上昇を抑制。

低運転音・低振動。回転部への徹底したバランス設計により、低運転音・低振動を実現。騒音：≦58／≦63㏈（50／60㎐）（クーラーや静かな乗用車並み）。振動は、他社同等品の約1/10（弊社調べ。）

長寿命。自己潤滑性・耐摩耗性に優れたスーパーエンプラ、及び特殊表面処理の採用により優れた耐久性。ロータとシリンダの間に一定の微小クリアランスを設け、基本的に非接触構造化と摺動部の極小化を実現。マグネットカップリングの採用により、摺動シール不要。　⇒シール摩耗によるメンテナンス不要。　⇒モータ軸部への負荷を極小とすることで、モータの長寿命化をサポート。約30,000時間メンテナンス不要。（使用条件、環境により変化します。保証値ではありません。）

低発塵。低発塵性・低揮発性に非常に優れた真空用クリーングリースを使用し、給油は不要。摺動部極小化により低発塵性を実現。　⇒ベーンポンプのような摩耗粉飛散による周囲環境への汚染を抑制。クリーン排気により、周囲環境への汚染を抑制。

環境対応・安全設計。RoHS指令対応　CEマーキング対応。（単相100V電源スイッチ搭載タイプは、CEマーキング非対応となります。）

オプションも充実。ポンプ単体だけでなく、ワンタッチ継手、締付継手（中真空の配管に最適）、排気クリーナ（排気音サイレンサ）をオプションとして各種用意。

単相100V仕様（2連・並列接続／直列接続）に電源スイッチ搭載タイプをラインナップ。コンセントに差し込むだけで、すぐに使用可能。

※真空供給用と真空破壊用の電磁弁それぞれに直動弁を採用した真空ポンプシステム対応ユニットVNPを併用することで、吸着搬送時に一切圧縮エアを使いません。（但し、真空破壊時には、圧縮エアが必要です。）　従いまして、圧縮エアの消費量を大幅に削減できます。

ロータリ真空ポンプは精密機器ですので、真空用フィルタを必ず設置し、水分・ゴミ・塵を吸引しないでください。

真空

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253

本製品に最適な機器のご案内真空ポンプシステム対応ユニット ・ ・ P.258真空用フィルタ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ P.393小型真空レギュレータ ・ ・ ・ ・ ・ P.396大型デジタル表示付圧力センサ ・ ・ P.116ハンディマノメータ ・ ・ ・ ・ ・ ・ P.120

本製品の詳細について本ページ掲載商品の個別注意事項、掲載製品の共通注意事項、安全上のご注意につきましては、弊社が発行する『ロータリ真空ポンプカタログとチラシ』か弊社のホームページにて必ずご確認ください。

動作原理

構造図（2連・並列接続ー60Wモータタイプ：RPV062-60の場合）

吸気ポート⇩

排気ポート⇧

吸気 吸気

吸気吸気吸気

排気 排気

排気排気排気

ロータ

強制空冷通気孔

シリンダ

①.シリンダとそのシリンダを挟持するプレートにて形成された空間内に、偏心回転するロータが配置されています。②.このロータが偏心回転することによって、吸気ポート側のロータとシリンダで形成されている空間の容積が増大し、大気圧との圧力差が生じ空気を吸入するのと同時に、排気ポート側のロータとシリンダで形成されている空間の容積が減少し、シリンダ外へ空気を排気します。

③.この動作を連続的に行うことにより、吸気ポートから排気ポートへの空気移送を実現しています。

No. 部品名 材　質① シリンダ アルミ合金② ロータ PPS系樹脂③ ベアリング ステンレス④ クランクプレート ステンレス⑤ 主　軸 ステンレス⑥ サイドブロックE アルミ合金⑦ ベアリング ステンレス⑧ バランサーE ステンレス⑨ バランサーR ステンレス⑩ サイドプレート アルミ合金⑪ センタプレート アルミ合金⑫ マニホールド アルミ合金⑬ サイドブロックM アルミ合金⑭ マグネット ネオジム磁石⑮ 冷却ファン PPS樹脂⑯ シールカップ PPS樹脂⑰ モータ アルミ合金他⑱ キャップスクリュー ステンレス⑲ インナーカップリング ステンレス⑳ マグネット ネオジム磁石

※シールゴム材質は、全てFKMになります。

①

②③ ③ ④④

⑤⑱

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩⑪

⑫

⑬

⑭⑮ ⑯

⑰

⑱

⑲ ⑳

⑦ ⑨

ロータリ真空ポンプ254

タイプ 中真空・30ℓ 低真空・60ℓ形　式 RPV06A-40T200 RPV06A-40S100（S100SW（※2）） RPV062-60T200 RPV062-60S100（S100SW（※2））

シリンダ連数 　　2連 　　　2連

シリンダ配管方式 　直列接続 　　並列接続

排気速度（ℓ／min） 50Hz 30.0 60.060Hz 36.0 72.0

到達真空圧力（Pa abs） 50Hz ≦350 ≦3,50060Hz ≦300 ≦3,000

到達真空圧力（kPa G） 50Hz ≦-100.95 ≦-97.860Hz ≦-101.0 ≦-98.3

最大吸込圧力 大気圧周囲環境温度（屋内）（ºC） 5 ~ 40周囲環境湿度（屋内） 85%RH以下（結露なきこと）雰囲気（吸入気体） 腐蝕性及び爆発性ガスの無い雰囲気設置場所振動 4.9m／s²以下（10 ~ 60Hz）設置場所標高 海抜1,000m以下設置姿勢 モータ軸水平設置

電動機

出　力（W） 40 60

種　別 3相モータ　サーマルプロテクタ内蔵耐熱クラス130（B）

単相コンデンサ形　インダクションモータサーマルプロテクタ内蔵　耐熱クラス130（B）

3相モータ　サーマルプロテクタ内蔵耐熱クラス130（B）

単相コンデンサ形　インダクションモータサーマルプロテクタ内蔵　耐熱クラス130（B）

電　圧（V） 200 100 200 100

定格電流（A） 50Hz 0.31 0.83 0.45 1.360Hz 0.29 0.7 0.41 1.2

定格回転速度（min¯¹）50Hz 1,350 1,250 1,350 1,25060Hz 1,625 1,600 1,625 1,575

始動電流（A） 50Hz 0.9 1.7 1.3 2.460Hz 0.82 1.5 1.2 2.3

運転音（dB（A））（※1） 50Hz ≦5860Hz ≦63

吸気ポート接続口径 G3/8 G1/2排気ポート接続口径 G1/4 G3/8寸　法（全幅×奥行×全高）（mm）125×284.6×166.5（S100SW（※2）：125×289.6×180.7） 125×299.6×176（S100SW（※2）：125×299.6×180.7）質　量（kg） 7.2（S100SW（※2）：7.6（※付属品を含む）） 7.5（S100SW（※2）：7.9（※付属品を含む））冷却方式 強制空冷※1.運転音は、吸気音、排気音を除外した測定値であり、使用条件により異なるため、これを保証するものではありません。※2.電源スイッチ搭載タイプとなります。また、CEマーキングには対応しておりませんのでご注意ください。

■弊社ロータリ真空ポンプ掲載内の圧力は、絶対圧基準（kPa absまたはPa abs）と大気圧基準（kPa G）が併記されています。ポンプ選定の際は、単位を間違われないようご注意ください。

絶対真空

標準大気圧

0 101.33

-101.33

絶対圧基準 [kPa abs]

大気圧基準 [kPa]（ゲージ圧力） 0

-10

10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

-20-30-40-50-60-70-80-90-100RPV062, 063, 064

RPV062, 063, 064

RPV06A

RPV06A

仕　様

真空圧力表示について

IN OUT OUTIN

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255

タイプ 低真空・90ℓ 低真空・120ℓ形　式 RPV063-90T200 RPV064-120V200

シリンダ連数 　　　3連 　　　4連

シリンダ配管方式 　　並列接続 　　並列接続

排気速度（ℓ／min） 50Hz 90.0 120.060Hz 108.0 144.0

到達真空圧力（Pa abs） 50Hz ≦3,50060Hz ≦3,000

到達真空圧力（kPa G） 50Hz ≦-97.860Hz ≦-98.3

最大吸込圧力 大気圧周囲環境温度（屋内）（ºC） 5 ~ 40周囲環境湿度（屋内） 85%RH以下（結露なきこと）雰囲気（吸入気体） 腐蝕性及び爆発性ガスの無い雰囲気設置場所振動 4.9m／s²以下（10 ~ 60Hz）設置場所標高 海抜1,000m以下設置姿勢 モータ軸水平設置

電動機

出　力（W） 90 120

種　別 3相モータ　サーマルプロテクタ内蔵耐熱クラス130（B）

電　圧（V） 200 200

定格電流（A） 50Hz 0.62 0.7460Hz 0.56 0.68

定格回転速度（min¯¹）50Hz 1,350 1,35060Hz 1,625 1,600

始動電流（A） 50Hz 2.0 2.6260Hz 1.8 2.38

運転音（dB（A））（※1） 50Hz ≦5860Hz ≦63

吸気ポート接続口径 G1/2排気ポート接続口径 G3/8寸　法（全幅×奥行×全高）（mm） 125×340.6×181 125×397.6×181質　量（kg） 9.0（※2） 10.5（※2）冷却方式 強制空冷※1.運転音は、吸気音、排気音を除外した測定値であり、使用条件により異なるため、これを保証するものではありません。※2.形状：RPV063-90T200、RPV064-120V200の質量には、付属の止栓（2個）の質量も含んでおります。

OUTINOUTIN

ロータリ真空ポンプ256

中真空・30ℓ

中真空・30ℓ

低真空・60ℓ

低真空・60ℓ

低真空・120ℓ低真空・90ℓ

形　状

形　状

形　状

形　状

形　状形　状

形　式RPV06A-403-4-5-6

RPV06A-40T200-4-5-6RPV06A-40S100-4-5-6

形　式RPV06A-40S100SW-4-5-6RPV06A-40S100SW-4-5-6

形　式RPV062-603-4-5-6

RPV062-60T200-4-5-6RPV062-60S100-4-5-6

形　式RPV062-60S100SW-4-5-6RPV062-60S100SW-4-5-6

形　式RPV064-120V200-4-5-6RPV064-120V200-4-5-6

形　式RPV063-90T200-4-5-6RPV063-90T200-4-5-6

価格（¥）オープン価格オープン価格

価格（¥）オープン価格

価格（¥）オープン価格オープン価格

価格（¥）オープン価格

価格（¥）オープン価格

価格（¥）オープン価格

▲

本ページ掲載の商品は、環境にやさしい「ECO商品」となります。* ECO商品の詳細につきましては、P.4を参照ください。

RPV06A

RPV06A

RPV062

RPV062

RPV064RPV063

2連・直列接続

2連・直列接続　電源スイッチ搭載タイプ

2連・並列接続

2連・並列接続　電源スイッチ搭載タイプ

4連・並列接続3連・並列接続

本ページ掲載商品の荷姿(出荷単位)1個／1箱 :ロータリ真空ポンプ

本ページ掲載商品は、ホームページにてCADデータの提供をいたしております。

本ページ掲載商品の注意事項*形式内の4には吸気側継手を、5には排気側継手を、6には排気クリーナ（及び継手）をそれぞれP.251の注文形式（例）より選択してご記入ください。

品−G

New New

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257

吸気ポート用ストレート継手

吸気ポート用ストレート締付継手 排気ポート用ストレート締付継手

排気クリーナ用ストレート継手

吸気ポート用エルボ継手

排気クリーナ用エルボ継手

排気ポート用ストレート継手 排気ポート用エルボ継手

排気クリーナ

形　状

形　状 形　状

形　状

形　状

形　状

形　状 形　状

形　状

注文形式PCøD-G

PC10-G3PC10-G4PC12-G3PC12-G4PC16-G3PC16-G4

注文形式NBCøD-G

NBC1065-G3NBC1065-G4NBC1075-G3NBC1075-G4NBC1280-G3NBC1280-G4NBC1290-G3NBC1290-G4NBC1611-G3NBC1611-G4NBC1613-G3NBC1613-G4

注文形式NBCøD-G

NBC1065-G2NBC1065-G3NBC1075-G2NBC1075-G3NBC1280-G2NBC1280-G3NBC1290-G2NBC1290-G3NBC1611-G3NBC1613-G3

注文形式PCøD-R

PC10-04PC12-04PC16-04

注文形式PLøD-G

PL10-G3PL10-G4PL12-G3PL12-G4PL16-G3PL16-G4

注文形式PLøD-R

PL10-04PL12-04PL16-04

注文形式PCøD-G

PC10-G2PC10-G3PC12-G2PC12-G3PC16-G3

注文形式PLøD-G

PL10-G2PL10-G3PL12-G2PL12-G3PL16-G3

注文形式

RPVF-04

価格（¥）

335470390490870890

価格（¥）

480680480680560690560690690710690710

価格（¥）

440480440480450560450560690690

価格（¥）

360420880

価格（¥）

525670610720

1,3001,340

価格（¥）

580640

1,280

価格（¥）

295335390390870

価格（¥）

485525590610

1,300

価格（¥）オープン価格

▲

本ページ掲載の商品は、環境にやさしい「ECO商品」となります。* ECO商品の詳細につきましては、P.4を参照ください。

PC

NBC NBC

PC

PL

PL

PC PL

RPVF-04

オプション部品

本ページ掲載商品の荷姿(出荷単位)1個／1箱 : 排気クリーナ1個／1袋 : 吸気・排気ポート用ストレートまたはエルボ継手1個／1箱 : 排気クリーナ用エレメント10個／1袋：排気クリーナ用ストレートまたはエルボ継手 ▲ 表示価格は、1袋時の1個当たりの価格です。

本ページ掲載商品は、ホームページにてCADデータの提供をいたしております。

交換エレメント

排気クリーナ用エレメント注文形式

RPVFE-04

価格（¥）オープン価格

Oリング

ワッシャー

ナット｝排気クリーナ用エレメント形　式：RPVFE-04

øD

øD øD

øD

øD

øD øD

øD

G

G G

G

R

G G

R

品−A

品−G品−G