Instalaciones, Servicios y Tarifas -...

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Instalaciones, Servicios y Tarifas Nuestras instalaciones únicas están disponibles para los centros de investigación públicos y privados, así como para las empresas, que encontrarán en el equipamiento del LMA, una capacidad única de investigación y desarrollo tecnológico disponible en muy pocos centros de investigación a nivel mundial. A continuación puede encontrar las instalaciones disponibles en nuestro centro, así como qué tipo de información se puede obtener con cada equipo. Además, un cuidadoso diseño de experimentos combinados en los diferentes instrumentos del LMA le proporcionará una visión completa de la morfología, composición y propiedades de su muestra. Área de Microfabricación: Dual Beam y Microcaracterización: SEM, XPS y XRD Cryogenic Dual Beam Nova 200 Equipos de Doble Haz (Dual Beam) Helios Nanolab 600 y 650 Microscopio electrónico de barrido ambiental SEM- Quanta FEG-250, ESEM

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Instalaciones, Servicios y Tarifas 

 

Nuestras  instalaciones  únicas  están  disponibles  para  los  centros  de  investigación 

públicos y privados, así como para  las empresas, que encontrarán en el equipamiento 

del  LMA, una  capacidad única de  investigación  y desarrollo  tecnológico disponible en 

muy pocos centros de investigación a nivel mundial. 

A  continuación  puede  encontrar  las  instalaciones  disponibles  en  nuestro  centro,  así 

como  qué  tipo  de  información  se  puede  obtener  con  cada  equipo.  Además,  un 

cuidadoso diseño de experimentos combinados en los diferentes instrumentos del LMA 

le proporcionará una visión completa de la morfología, composición y propiedades de su 

muestra. 

Área de Microfabricación: Dual Beam y Microcaracterización: SEM, XPS y XRD 

Cryogenic Dual Beam Nova 200 

Equipos de Doble Haz (Dual Beam) Helios Nanolab 600 y 650  

Microscopio electrónico de barrido ambiental SEM-Quanta FEG-250, ESEM  

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Microscopio Electrónico de Transmisión Tecnai F30 

Servicio de Preparación de Muestras para el TEM 

 

 

 

Scanning Probe Microscopy (SPM) Area 

Microscopios de barrido de sonda (SPM) a bajas temperaturas (LT) y ultra alto vacío (UHV-LT) 

Laboratorio de Microscopia de Sonda Local en altos campos magnéticos y bajas temperaturas 

Microscopía de sonda local (SPM) en condiciones ambientales 

 

 Cryogenic Dual Beam Nova 200 

El  equipo  criogénico  de doble  haz  o  “Dual  Beam” Nova 200  está  dedicado principalmente  al  análisis  de materiales  especialmente sensibles  a  los  electrones (materiales  “blandos”).  Este equipo  contiene  el  núcleo  del Nova Nanolab modelo 200, pero que  ha  sido  actualizado  con  un dispositivo  criogénico  que permite el estudio de materiales a bajas  temperaturas. El equipo consta  por  lo  tanto  de  un 

dispositivo de transferencia de  la muestra   “cryo‐transfer”  junto   con una cámara de preparación  (crio‐cámara),  la  cual  tiene  integrado un  sistema que permite hacer un recubrimiento metálico en  las muestras  a  través de  la  técnica de    “sputtering”. Así, este  instrumento permite generar  in situ fracturas de materiales blandos, evitando el daño asociado a las fracturas que se realizan a temperatura ambiente.  

 Además  de  poder  estudiar  los materiales  en  su  estado  original  (porosidad, 

nano‐objetos  embebidos,  heterogeneidades  internas,  etc.),  puede  determinarse  la distribución  interna  de  los  componentes  de  la muestra  utilizando  un  haz  de  iones focalizado (FIB del  inglés Focused Ion Beam) que permite realizar cortes transversales de  la muestra. Gracias a una combinación de este Dual Beam Criogénico y del Helios Dual  Beam modelo  650,  también  disponible  en  nuestro  Centro,  pueden  obtenerse secciones  transversales de materiales biológicos  embebidos  en  resina  epoxy,  lo que permite hacer reconstrucciones tridimensionales (3D). Además, este equipo posee un software para el análisis de los espectros EDX (Energy‐Dispersive X‐Ray micro‐analysis). Finalmente,  debemos  subrayar  también  que  este  instrumento  dispone  de  un nanomanipulador Omniprobe  para  la  preparación  de  lamelas  así  como  un  inyector para 5 gases diferentes.  

 Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del 

mundo  industrial que  requieran el uso de este equipo dispondrán  también,  si así  lo solicitan, del  apoyo  científico  y  técnico de nuestro personal  altamente  cualificado  y experimentado.  

 

¿Qué puede hacerse con este equipo?

 

Imágenes (resolución de 1,4 nm)/ Análisis:   

Utilizando  los  distintos  detectores  disponibles  en  este  equipo  es  posible obtener la siguiente información:  

 

Imágenes  de  electrones  secundarios  y  topografía  por  medio  de  detectores 

ETD/TLD ( del inglés Everhart‐Thornley Detector/ Thru‐the‐Lens Detectors). 

Imágenes de electrones retro‐dispersados y composición utilizando un detector 

BSED (Back Scattering Electron Detector).  

Imágenes de iones secundarios, que son sensibles a la dirección cristalográfica 

de la muestra.  

Análisis químico elemental por EDX  (del  inglés Energy‐Dispersive X‐ray micro‐

analysis) 

Imágenes STEM (barrido‐transmisión). 

 

Nanofabricación (dimensión lateral entre los 50 nm y decenas de micras) 

 

FIB (focused  ion beam); grabado de un motivo previamente diseñado sobre  la muestra. 

FEBID/FIBID: deposición de material inducida por un haz de electrones o por un haz de iones. 

 Gases Precursores 

 (CH3)3(CpCH3)Pt, CO2(CO)8, W(CO)6, TEOS + H2O  SiO2, Selective Carbon Mill 

(MgSO4∙7H20) Micromanipulación  

Preparación de lamelas en modo convencional.  

Adelgazamiento  de  la  muestra  a  bajas  temperaturas  (muestras  para observación con TEM).  

Nano‐manipulador (Omniprobe).  

Baja Temperatura  

Enfriamiento  rápido  y  crio‐fractura  de  materiales.  Las  muestras  pueden fracturarse en el rango de temperaturas comprendido entre los ‐180 y ‐150 ºC. La observación puede realizarse entre los ‐130 y ‐140 ± 1 ºC.  

Requerimientos de las muestras

 

Las  muestras  no  conductoras  necesitan  cubrirse  con  una  película  metálica 

antes de  su estudio  (por  sputtering o por evaporación, que puede  realizarse 

también en nuestras instalaciones).  

Pueden estudiarse tanto muestras conductoras como no conductoras en forma 

de estructuras 3D, películas, polvos compactados, etc.  

Las muestras deben ser compatibles con su exposición a alto vacío. 

El tamaño de  la muestra debe estar comprendido entre 1 y 100 mm. Además, 

deberían tener un espesor inferior a los 10 mm.  

El uso del modo criogénico permite  la medida de muestras  líquidas, muestras 

húmedas y sensibles al haz de  iones, polímeros, resinas, MOFs  (metal‐organic 

frameworks), etc.  

 

Especificaciones técnicas

Resolución del haz 

de electrones 2,5 nm a 1 kV, 1,4 nm a 15 kV 

Resolución del haz 

de Iones 7 nm a 30 kV 

Rango de voltaje 

de trabajo 

Haz de electrones: 200V‐30kV 

Haz de Iones: 2kV‐30kV 

Corriente de sonda Haz de electrones:  1,4 pA  (1kV) hasta 37 nA (30kV) 

Haz de Iones: 1 pA hasta 20 nA a 30 kV 

Plataforma de 

portamuestras 

motorizada con 

cinco ejes (alta 

precisión) 

XY: 50 mm, 

Z: 25 mm 

T: ‐10 hasta +60 

R= 360 (continuo) 

Presión de vacío en 

la cámara <2,6 x 10‐6 mbar (tras 24 h bombeando) 

Tamaño de 

muestra 

Tamaño máx.: 100 mm de diámetro ( sin restricciones de rotación 

e  inclinación)    (mayores  tamaños  con  restricciones  al  rotar  e 

inclinar) 

Peso máx.:  500 g (incluyendo el portamuestras) 

Opción Criogénica 

Modelo PPT2000  con Sistema de Cryo‐transferencia  de Quorum Technologies 

Transferencia 

Después  del  enfriamiento  y  la  transferencia  en  condiciones  de 

vacío,  la muestra es colocada en  la precámara de preparación. La 

temperatura del portamuestras se mantiene entre ‐130oC y ‐140oC 

(con una precisión  de +/‐ 1 oC) 

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 Equipos de Doble Haz (Dual Beam) Helios Nanolab 600 and 650 

En  las  instalaciones  de sala  blanca  del  INA‐LMA, existen  equipos  con  diferentes opciones de  litografía según  las necesidades  y  requerimientos del  usuario.  Estos  equipos permiten  crear  estructuras  a escala  micro‐  y  nano‐métrica, siguiendo  un  patrón previamente  diseñado  y obteniendo, al final del proceso, el  dispositivo  deseado. Concretamente,  los  equipos “Dual  Beam”  o  de  doble  haz 

(FIB‐SEM) se utilizan principalmente para procesos de nanolitografía y preparación de lamelas. Estos equipos están situados sobre dos plataformas de hormigón dentro de la sala blanca de clase 10.000 (ISO7) y 125 m2. 

 El primer equipo de Doble Haz es el modelo Helios 600 (ver imagen arriba), de 

la  empresa  FEI,  que  combina  un  haz  de  electrones  (fuente  emisión  de  campo) acelerado hasta 30 kV y un haz de  iones Galio  focalizado  (que  trabaja hasta 30 kV). Ambas columnas se sitúan a 52º una respecto de la otra. La columna de iones es capaz trabajar a baja  tensión  (5 kV e  inferior),  lo que minimiza el daño provocado por  los iones durante  la preparación de  lamelas. Se dispone  también de cinco  inyectores de gas,  permitiendo  así  el  crecimiento  de  nano‐estructuras  con  alta  resolución.  Por ejemplo, nano‐depósitos  superconductores de W con un  tamaño  lateral de 40 nm y nano‐depósitos  ferromagnéticos basados en Co con el  tamaño  lateral 30 nm,  lo que permite estar a la vanguardia de la investigación en estos temas. Además, dispone de una  estación  de  4  micropuntas  eléctricas  (Kleindiek®)  que  se  sitúan  dentro  de  la cámara para medidas de  transporte eléctrico  in‐situ y  la posibilidad de  llevar a cabo procesos de litografía electrónica gracias al hardware/software de Raith®. 

El  segundo  equipo  de 

Doble  Haz  situado  en  la  Sala Blanca  es  el  modelo  Helios  650 (ver imagen a la izquierda), que es una  versión  mejorada  del  Helios 600.  La  diferencia  principal  entre ambos  se  refiere a  la columna de electrones  que  posee  un monocromador  y  decelerador  del haz,  llegando  en  el  Helios  650  a una  resolución  de  0,9  nm.  La 

columna de iones se diferencia principalmente de la del Helios 600 por tener un vacío diferencial en la parte más baja, lo que permite tener un perfil de haz bien definido al impactar en  la  superficie de  la muestra.  Los  resultados obtenidos  con esta  columna muestran  la  posibilidad  de  crecer  materiales  de  alto  interés  científico  a  escala nanométrica. Además, esta columna de iones es muy adecuada para la preparación de 

lamelas,  en  combinación  con  el  nanomanipulador  Omniprobe®.  El  equipo  además 

tiene instalados 5 inyectores de gas y una estación de micropuntas (Kleinkiek®).  Ambos  equipos  trabajan  sacando  el  máximo  rendimiento  a  las  diferentes 

técnicas: preparación de  lamelas, cortes de sección transversal, nanolitografía basada en  haz  de  iones,  nano‐depósitos  inducidos  tanto  por  iones  como  por  electrones, medidas de transporte eléctrico y litografía por haz de electrones. 

Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del mundo  industrial que  requieran el uso de este equipo dispondrán  también,  si así  lo solicitan, del  apoyo  científico  y  técnico de nuestro personal  altamente  cualificado  y experimentado.  

¿Qué puede hacerse con estos equipos?

Imágenes (resolución 1,4 nm)/ Análisis   

Gracias  a  los  distintos  tipos  de  detectores  disponibles  en  estos  equipos, puede obtenerse la siguiente información:  

 

Imágenes  con  electrones  secundarios  y  topografía  por medio  de  detectores 

ETD/TLD (del inglés Everhart‐Thornley Detector / Through lens detector). 

Imágenes  con  electrones  retrodispersados  y  composición  utilizando  un 

detector  BSED (Back Scattering Electron Detector).  

Imágenes de iones secundarios sensibles a la dirección cristalográfica utilizando 

detectores CDEM/ICE  (Channel Detection Electron Multiplier /  Ion Conversion 

and Electron). 

Análisis Químico Elemental por EDX (Energy‐Dispersive X‐ray micro‐analysis). 

Imágenes STEM (barrido‐transmisión).  

 

Nanofabricación (dimensión lateral menor entre 50 nm y decenas de micras) 

 

Directa FIB (focused ion beam): grabado de un motivo pre‐diseñado sobre la muestra. 

Directa FEBID/FIBID(focused electron/ion beam induced deposition).  

GASES PRECURSORES  

(CH3)3(CpCH3)Pt, Co2(CO)8, W(CO)6, TEOS + H2O  SiO2, Selective Carbon Mill (MgSO4∙7H20), I2, XeF2 

Indirecta: Litografía electrónica (Raith®).  

Micromanipulación  

Preparación de lamelas (muestras para observación al TEM) – Omniprobe ®. 

Micro‐pinzas (Kleindiek®).  

Medidas eléctricas in‐situ   

Estación de 4 micropuntas Kleindiek ®. 

Requerimientos de las muestras

Las muestras no conductoras deben recubrirse de una película conductora (por 

sputtering o por evaporación, también disponible en nuestro centro). 

Pueden  estudiarse  muestras  conductoras  y  no  conductoras  tales  como 

estructuras tridimensionales, películas, polvo compactado, etc.  

Las muestras deben resistir condiciones de alto vacío. 

Dimensión  de  la muestra:  desde menos  de  1 mm  a  100 mm  (espesor  de  la 

muestra < 10 mm). 

 

Especificaciones técnicas

Resolución del haz de electrones 

0,9 nm a 5 kV 

Resolución del haz de iones 

4,0 nm a 30 kV 

Rango de Voltaje de trabajo 

Haz de electrones: 20 V ‐ 30 kV Haz de iones: 500 V ‐ 30 kV 

Corriente de sonda 

Haz de electrones: 0,8 pA hasta 26 nA Haz de iones: 0,1 pA ‐ 65 nA (15 posiciones) 

Plataforma portamuestras motorizada con cinco ejes (alta 

precisión) 

XY: 150 mm, piezo‐eléctrico Z: 10 mm motorizado T: ‐ 10° hasta + 60° R: n x 360° (sin fin), piezo‐eléctrico Precisión al inclinar (entre 50° y 54°): 0,1° Inclinación y rotación compucéntrica 

Presión de vacío en la cámara 

< 2,6 x 10‐6 mbar (tras 24 h de bombeo) 

Tamaño de muestras 

Tamaño máx.: 150 mm de diámetro (sin restricciones de rotación e inclinación;  mayores  dimensiones  con  restricción  al  rotar  e inclinar). Peso: max. 500 g (incluyendo el portamuestras) 

 

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Microscopio electrónico de barrido ambiental  

SEM‐Quanta FEG‐250, ESEM 

 

  

El  microscopio  electrónico  de  barrido  ambiental 

Quanta FEG 250 (ESEM) es un SEM de emisión de campo. El 

ESEM Quanta FEG 250 permite trabajar bajo tres diferentes 

modos  de  presión,  la  máxima  presión  que  se  puede 

obtener  es  de  2600  Pa.    Este  microscopio  permite  la 

observación de muestras biológicas, poco conductoras,  sin 

tratamiento previo ya que podemos controlar  la humedad 

relativa de  la cámara y  la temperatura de  la muestra para 

evitar daños durante el tiempo de observación.  

 

Este  equipo  permite  aumentar  la  temperatura  de  la muestra  hasta  1000  ºC 

observando durante dicho proceso de calentamiento  los cambios en  la topografía del 

material. Este microscopio de barrido posibilita  la desaceleración de electrones sobre 

muestras  no  conductoras  con  lo  que  obtendríamos  resoluciones  de  hasta  1,4  nm 

incluso a 1 kV. 

 

Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del 

mundo  industrial que  requieran el uso de este equipo dispondrán  también,  si así  lo 

solicitan, del  apoyo  científico  y  técnico de nuestro personal  altamente  cualificado  y 

experimentado.  

¿Qué tipo de información puede obtenerse con este microscopio?

Imágenes / Análisis  

 

Utilizando  los  diferentes  detectores  disponibles  en  este microscopio,  puede 

obtenerse la siguiente información:  

 

Imágenes  con  electrones  secundarios,  información  topográfica: utilización de 

un  detector  ETD  /  FLD  (del  inglés  Everhart‐Thornley  Detector/  Large  Field 

Detector) para electrones secundarios. 

Imagen  y  composición  empleando  un  detector GAD/vCD  (Gaseous Analytical 

Detector/Low voltage High Contrast Detector). Pueden obtenerse imágenes de 

electrones retrodispersados.  

Imagen  con  electrones  secundarios  procedentes  de  la  fase  gas  utilizando  un 

detector GSED/GAD  (Gaseous Secondary Electron Detector/Gaseous Analytical 

Detector). 

Análisis químico elemental mediante espectroscopia EDX (Energy Dispersive X‐

Ray spectroscopy). 

Imágenes STEM (barrido‐transmisión) empleando un detector STEM. 

 

Experimentos in situ: 

 

Calentamiento  de  la  muestra  hasta  1000  ºC  que  puede  acompañarse  de 

imágenes de electrones secundarios y espectroscopia EDX. 

Modo Peltier: pueden inducirse cambios en la presión, temperatura y humedad 

relativa  en  la  cámara  de  muestras  obteniéndose  imágenes  de  electrones 

secundarios, retrodispersados y espectroscopia EDX.  

Imágenes en modo STEM en muestras húmedas y también en muestras secas 

sometidas a alto vacío. 

 

Requerimientos de las muestras

Las muestras  líquidas y no conductoras que deseen estudiarse en condiciones 

de alto vacío deben ser secadas y metalizadas antes de  introducirlas en  la cámara de 

muestras.  En  cambio,  las  muestras  estudiadas  a  bajo  vacío  o  en  modo  ESEM  no 

requieren ningún tipo de preparación previa.  

 

Los tipos de muestras que pueden estudiarse con el SEM‐Quanta FEG‐250 incluyen: 

 

Materiales  en  3D,  películas,  recubrimientos,  polvos  compactados,  etc.  bien 

sean conductoras o no conductoras.  

Muestras compatibles con alto vacío, bajo vacío y modo ESEM.  

Muestras húmedas o en medio líquido. 

El tamaño de la muestra puede ir desde menos de 1 mm hasta 50 mm (área de 

observación 50 x 50 x 50 mm) para muestras en alto y bajo vacío. En el caso de 

estudios ESEM las muestras deben tener un tamaño hasta 5 mm. 

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200 nA  

bajo vacío (bncima 200 PSEM (2600P

0 x 50 x 50 

SED, vCD, D

STEM  

LFD, GAD

, GBSD, ESE

Smartscan™

m  

ertos  

bajo, por Pa) Pa)  

mm  

DBS  

D  

EM‐GAD  

™, DCFI  

  

Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo CSEM‐FEG INSPECT F50  

El Microscopio  Electrónico  de  Barrido  (SEM)  es  capaz  de  obtener  imágenes  de  una 

muestra mediante  el  barrido  de  la misma  con  un  haz  focalizado  de  electrones.  Los 

electrones  interaccionan con  la muestra produciendo varios tipos de señales que son 

recogidas por los detectores y tras su análisis se obtienen imágenes de la topografía de 

la muestra y de la composición de la misma. 

 

El microscopio  electrónico  de  barrido  de  emisión 

de campo modelo INSPECT‐F50 permite obtener imágenes 

de alta  resolución  tanto de electrones  secundarios  como 

de  electrones  retrodispersados  así  como  realizar  análisis 

químicos  mediante  espectroscopia  de  dispersión  de 

energía de rayos x (EDS). 

 

Los  investigadores  de  centros  públicos  o  privados 

así  como  los  profesionales  del  mundo  industrial  que 

requieran el uso de este equipo dispondrán también, si así 

lo  solicitan,  del  apoyo  científico  y  técnico  de  nuestro 

personal altamente cualificado y experimentado.  

¿Qué tipo de información proporciona este microscopio?

 

Imágenes / Análisis   

Utilizando  los  diferentes  detectores  que  incorpora,  el  INSPECT  F50  puede proporcionar la siguiente información:   

Imágenes  con electrones  secundarios  y  topografía por medio de un detector 

ETD (del inglés Everhart‐Thornley Detector). 

Imágenes  con  electrones  retrodispersados  y  composición  empleando  un 

detector BSED (Back Scattering Electron Detector).  

Análisis químico elemental por medio de espectroscopia EDX (del inglés Energy‐

dispersive X‐ray spectroscopy). 

   

Requerimientos de las muestras

 

En el caso de muestras líquidas éstas deben secarse previamente; si además, la muestra es no conductora deberá recubrirse con una película metálica. Las muestras no  conductoras  podrían  emplearse,  si  así  se  desea,  sin  recubrimiento  metálico trabajando  a  bajos  voltajes  aunque  tiene  el  inconveniente  de  que  se  obtienen imágenes con menor contraste y baja definición.   

Las muestras que pueden ser estudiadas con el Inspect F50 SEM incluyen:  

Muestras  conductoras  y  no  conductoras,  estructuras  3D,  películas, 

recubrimientos, material en polvo (compactado), etc. 

Muestras compatibles con alto vacío.  

El  tamaño de  la muestra puede  ser desde  inferior  a 1 mm hasta  los 50 mm 

(área de observación 50 x 50 x 50 mm).  

 

Especificaciones técnicas

Inspect F 50 

SEM  1 kV  3,0 nm sin BSED  

30 kV  1,0 nm  

Máxima corriente de haz 200 nA  

Vacío Único modo Alto vacío 

  X x Y x Z (mm)  50 x 50 x 50 mm  

Stage  Inclinación ‐15º a 75º  

  Rotación 360º  

Detección  Estado sólido BSE  BSED  

ETD  SE 

Imáágenes

 Difractómetro de rayos X de alta resolución Bruker D8 Advance:  

HR‐XRD y XRR   

 

La  dispersión  de  rayos  X  se  usa  de  forma rutinaria  para  determinar  la  estructura,  la orientación,  los  parámetros  de  red  y  la  calidad cristalina  en  materiales  cristalinos  (difracción  de rayos X), y el espesor, la densidad y la rugosidad de películas  delgadas  y  multicapas  (reflectividad  de rayos X). 

        La  configuración  de  este  equipo  está optimizada para estudios de difracción de  rayos X de alta resolución (HR‐XRD) y reflectividad de rayos X  (XRR)  en  películas  delgadas  y  superredes nanoestructuradas.  Para  ello  incluye monocromadores  en  los  haces  incidente  y difractado,  colimadores,  atenuadores  y  un 

portamuestras  euleriano.  Además,  permite  realizar  mapas  locales  gracias  al desplazamiento lateral motorizado de muestras planas. 

La XRD en el LMA utiliza un difractómetro D8 Advance de Bruker Española S.A. Este instrumento tiene varios modos de operación, incluyendo: 

Difracción de alta resolución en películas y multicapas epitaxiales 

Mapas del espacio recíproco 

Mapas locales en obleas extensas 

Reflectividad de rayos X 

Caracterización estructural de películas monocristalinas o texturadas 

Difracción en incidencia rasante (GID) 

El equipo de XRD es utilizado principalmente por investigadores que trabajan en el crecimiento de películas delgadas epitaxiales en las siguientes líneas: 

 •   Películas delgadas tensionadas epitaxialmente  •   Películas y nanoestructuras magnéticas para aplicaciones en Spintrónica •   Películas delgadas y multicapas multiferroicas •   Películas  de  materiales  con  efectos  termoeléctricos  (como  el  efecto 

Seebeck de spin)  

La experiencia de nuestro personal científico y técnico está a disposición de los investigadores  de  centros  de  investigación  públicos  y  privados,  así  como  a profesionales del sector industrial que requieran del uso de este instrumento. 

¿Qué tipo de información se puede obtener mediante la XRD?

  Las  técnicas  XRD  y  XRR  proporcionan  la  siguiente  información  en  películas delgadas:     

Composición química 

Estructura cristalina 

Parámetros de red 

Orientación de sustrato y película 

Ángulo de desviación del corte en sustratos monocristalinos 

Calidad cristalina y textura 

Rugosidad 

Densidad 

Espesor 

Defectos, dislocaciones 

Tensión 

Requisitos de las muestras

Aunque esta instalación es muy versátil y es posible el análisis de muestras de polvo, la configuración actual está optimizada para el estudio de películas delgadas. 

 

Especificaciones técnicas

Fuente de rayos X con ánodo de cobre 

Monocromador de Ge (022) (línea Cu K1)  Óptica de haz paralelo (espejo de Göbel)  Cuna euleriana y plataforma de traslación XYZ  Plataforma reclinable (Zeta y Xi) para incidencia rasante  Dispositivo de succión para fijar muestras planas  Rendijas de Soller  Atenuador del haz de rayos X  Control automático de alineamiento con microscopio y  láser  Detector de centelleo  Programas de análisis y bases de datos 

  

Imá

Medirosa)recog

Mapaheter

ágenes

ida de XRR) en una hetgen los valo

a del espaciroestructura

R (línea negrteroestructurores de espe

io recíprocoa epitaxial S

ra) y ajuste ra epitaxial

esor y rugos

o medido alrSrRuO3/BaT

usando el pMgO//Fe3O

sidad (desvi

rededor de lTiO3 crecida

programa LeO4/MgO/Fe/ación cuadr

la reflexióna sobre un s

eptos® de B/MgO. En lrática media

n pseudocúbustrato de G

Bruker (línela tabla se a).

bica 013 en GdScO3.

ea

una

 Espectrómetro de fotoelectrones de rayos‐X (XPS‐AES)  

modelo Kratos AXIS UltraDLD   

La  espectroscopia  XPS  es  una  técnica cuantitativa  fundamentalmente  empleada  para estudiar  la  superficie  de  un  material.  La espectroscopia  XPS  permite  determinar  la composición  elemental  (cualitativa  y  cuantitativa), fórmula empírica, y  los estados de oxidación de  los elementos presentes en el material. Esta  técnica se emplea de  forma  rutinaria en  la  caracterización de polímeros,  aleaciones,  semiconductores, minerales, tintas,  adhesivos,  materiales  inorgánicos,  vidrios, películas  delgadas,  recubrimientos,  etc.  y  en  el estudio  de  procesos/efectos  de  superficie  como segregación,  difusión,  adsorción,  absorción  y desorción,  corrosión,  degradación,  adhesión, soldadura,  contaminación,  limpieza,  recubrimiento, funcionalización, etc.  

Las  áreas  típicas de  interés de  los  usuarios  generales que  suelen  acudir  a este equipo incluyen, entre otras:  

 

Películas delgadas y recubrimientos. 

Funcionalización de superficies. 

Polímeros y adhesivos. 

Mineralogía, geoquímica y petroquímica. 

Metalurgia. 

Catálisis. 

Microelectrónica y semiconductors. 

Caracterización de superficie de sólidos.  

 XPS  es  una  espectroscopía  de  caracterización  de  superficies  (sensible  a  los 

primeros  3‐10nm).  Mediante  la  opción    ARXPS  (XPS  resuelto  en  ángulo)  permite estudiar la muestra en un perfil de profundidad (distribución de elementos, espesor de recubrimientos o de  capas de óxidos,   estudio de multicapas…). Combinando el XPS con  un  desbastado  controlado  de  la  muestra  mediante  un  haz  de  iones  permite estudiar perfiles de profundidad de varios cientos de nanómetros.  

 Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del 

mundo  industrial que  requieran el uso de este equipo dispondrán  también,  si así  lo requieren, del apoyo científico y técnico de nuestro personal altamente cualificado y experimentado.  

¿Qué tipo de información puede obtenerse mediante XPS?

  La  espectroscopia  XPS  permite  obtener  la  siguiente  información  sobre  la muestra objeto de estudio:    Composición química 

 Análisis elemental cualitativo y cuantitativo 

 Estructura / entorno químico 

 Análisis cualitativo y cuantitativo de especies químicas (estados de oxidación). 

 Imagen 

 Variación lateral de composición (elementos / estados de oxidación) 

 Perfiles en profundidad (XPS resuelto en ángulo / desbastado) 

 Distribución de composición en perfil de profundidad. Estudio de espesores de recubrimientos, de funcionalizaciones y de capas de óxido. 

  Los límites de detección son los siguientes:   Sensible a todos los elementos de la tabla periódica a partir de Z≥2   Concentración mínima detectable típica: 0.1‐1% atómico en superficie.  Error en cuantificación típico: ~10%   Límite resolución espacial en imagen: 3 μm. 

   

Requerimientos de la muestra

Cualquier  tipo  de  muestra  (conductora,  aislante,  magnética,  orgánica, inorgánica, polvo, sólida, viscosa) siempre que sea compatible con alto vacío. 

 

Sin necesidad de recubrimientos previos ni otro  tipo de preparaciones específicas. 

Análisis no destructivo. 

Área analizada: 10 μm (mínima) – 500 μm (estándar).    

Profundidad de análisis: 3‐10 nm (ampliable mediante desbastado).  

  

Espe

Imá

Fig.1

Fig.2

ecificacio

C Á A

p P A C C

p N

y S

ágenes y E

1 Martín e

2 Lucía G

ones técnic

Cámara de aÁnodos  de AAnalizador paralelo. PortamuestrARXPS – XPSCañón de eleCañón  de profundidadNeutralizadoy lentes magSoftware de

Ejemplos

et al. Chem

González et

cas

análisis con Al monocrode  energía

ras con 4 ejS resuelto eectrones paiones  Ar+

d). or de cargasgnéticas).  análisis y b

m. Eur. J. 20

al. Chem. M

presión basomático y Aas  con  mu

es de despln ángulo  ara AES/SEM+  para  lim

s (combina

bases de dat

014, 20, 34

Mater., 201

se < 10‐9 Tol/Mg dual.ulti‐detector

lazamiento 

M/SAM. mpieza  y 

ndo haz de

tos. 

21.

13, 25 (22),

rr.  

r  y  modo 

de alta prec

desbastad

electrones

pp 4503–4

imagen  2

cisión. 

do  (perfile

s de baja en

4510

D  en 

s  de 

nergía 

Fig.3

Fig.4

3 Mizrahi

4 Ballester

i et al. Lang

ros et al. L

gmuir 29 (2

angmuir 20

2013) 10087

011, 27, 36

7-10094

00–3610

 Titan Imagen de alta resolución (High‐Base):  

FEI TITAN3   

Los microscopios  Titan  (FEI  Company)  son  equipos  de 

nueva  generación  que  incorporan  un  corrector  de  aberración esférica  (CEOS  Company).  En  concreto,  el  Titan  high‐base incorpora  el  corrector  en  la  lente  objetivo,  la  que  forma  la imagen,  por  lo  que  es  el  microscopio  más  apropiado  para obtener  imágenes  de  ultra‐alta  resolución  (HRTEM).  También incorpora  un  biprisma  y  una  lente  de  Lorentz  para  hacer holografía magnética y microscopía Lorentz de alta resolución.  

 Al  poder  trabajar  a  bajo  voltaje  (60  kV,  80  kV)  el 

corrector permite obtener alta resolución  incluso en materiales muy  sensibles  al  haz  de  electrones  tales  como  grafeno, nanotubos de carbono o de hetero‐átomos, zeolitas y materiales mesoporosos, etc.  

 

Los voltajes de trabajo para este microscopio son de 60, 80, 120, 200 and 300 kV. 

 Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del 

mundo  industrial  que  requieran  el  uso  de  este  equipo  tendrán  también  a  su disposición el apoyo científico y  técnico de nuestro personal altamente cualificado y experimentado.  

¿Qué información podemos obtener con este equipo?

Imagen (resolución 0,09 nm) 

Información sobre la morfología y tamaño del material (TEM).  

Estructura cristalina (difracción de electrones y TEM de ultra‐alta resolución: HRTEM).  

Información  sobre  la  composición  de  la muestra:  imagen  en modo  barrido‐transmisión con detector anular de alto ángulo: STEM‐HAADF.  Imagen filtrada en energía (EFTEM) que proporciona información sobre un elemento concreto.   

Análisis químico 

Espectroscopia de pérdida de Energía de Electrón (EELS).  

Combinado con el modo barrido‐transmisión (STEM) composición química con resolución espacial: mapas y perfiles de composición.  

 Análisis de campos 

Estudio de campo magnético y eléctrico mediante Holografía electrónica.  

Estudio de dominios magnéticos: microscopía Lorentz.  

Estudio de campos tensión /deformación mediante análisis de imágenes de alta resolución.  

Medidas in situ 

Cambios de fase cristalina (difracción de electrones). 

Estructura de defectos por imagen campo claro/oscuro (BF/DF) y haz débil (WBDF). 

Especificaciones técnicas

El Titan High‐base  incorpora un corrector de  imagen y trabaja a voltajes entre 60 y 300 kV. Se encuentra dentro de una “caja” o “cubo” que actúa a modo de filtro de perturbaciones  térmicas  y mecánicas.  Está  equipado  con  un  cañón  de  emisión  de campo Schottky‐FEG y una cámara CCD Gatan de 2k x 2k para adquisición de imágenes de alta resolución (HRTEM). Las principales técnicas de trabajo son: 

 

HREM:  Para  la  obtención  de  imágenes  de  alta  resolución  (HRTEM)  el 

microscopio Titan High‐base está equipado con una lente objetivo SuperTwin® y  un  corrector  de  aberración  esférica  de  la  lente  objetivo  CETCOR  (CEOS Company) que permite una resolución en imagen de 0,09 nm. 

 

STEM: El microscopio consta de un módulo de barrido para trabajar en modo STEM  (barrido‐transmisión)  y  detectores  de  campo  claro  (BF),  campo  oscuro (DF) y anular de alto ángulo (HAADF). 

 

EELS:  El  filtro  de  energía  Gatan  Tridiem  863  permite  a  este  microscopio registrar  imágenes con  filtro de energía  (EFTEM) y espectroscopia de pérdida de energía de electrón (EELS) con una resolución de   ̴0,7 eV.  

 

Microscopía  Lorentz  y Holografía:  El microscopio  también  está  equipado  con una lente Lorentz y un biprisma electrostático para hacer análisis de materiales magnéticos. 

Imágenes

In Situ Formation of Carbon Nanotubes Encapsulated within Boron Nitride Nanotubes via Electron Irradiation Ref.: ACS Nano 8, 8419-8425 (2014) doi:10.1021/nn502912w

Aberration corrected HRTEM image of a magnetite nanoparticle epitaxially coated by a 1-nm-thick MgO layer. The insets show the FFT calculated from the areas marked with white squares. Ref.: Chem. Mater., 2012, 24 (3), pp 451–456. doi:10.1021/cm202306z

 Titán analítico (Low‐base):  

FEI TITAN Low‐base  

Los  microscopios  Titan  (FEI  Company) 

incorporan un corrector de aberración esférica  (CEOS Company).  En  el  caso  del  Titán  analítico  o  Low‐base incorpora el corrector en la lente condensadora, la que forma la sonda incidente sobre la muestra. Por ello es ideal  para  hacer  imagen  de  alta  resolución  en modo barrido‐transmisión  (HRSTEM)  y  mapas  de composición  química  con  resolución  atómica  por espectroscopia  de  pérdida  de  energía  de  electrón (STEM‐EELS). 

              Este  microscopio  incorpora  también  un monocromador  y un  cañón de emisión de  campo de alto  brillo  (XFEG),  lo  que  le  hace  especialmente interesante  para  estudio  de  propiedades  ópticas  por espectroscopia  EELS  de  baja  energía  y  estudio  de 

estados de oxidación analizando la estructura fina de los umbrales de absorción de los espectros EELS.  

 Al poder trabajar a bajo voltaje (60 kV, 80 kV) el corrector permite obtener alta 

resolución incluso en materiales muy sensibles al haz de electrones tales como grafeno, nanotubos de carbono o de hetero‐átomos, zeolitas y materiales mesoporosos, etc. 

 Los voltajes de trabajo de este equipo son: 60, 80, 120, 200 y 300 kV.  Los investigadores de centros públicos o privados así como los profesionales del 

mundo  industrial que  requieran el uso de este equipo dispondrán  también,  si así  lo requieren, del apoyo científico y técnico de nuestro personal altamente cualificado y experimentado.  

 

¿Qué información podemos obtener con este equipo?

 

Imagen (resolución 0,09 nm):  

Información  sobre  la  composición  de  la muestra:  imagen  en modo  barrido‐transmisión con detector anular de alto ángulo de alta resolución: HRSTEM. El contraste de la imagen depende directamente del número atómico. La imagen filtrada  en  energía  (EFTEM)  proporciona  información  sobre  un  elemento concreto.  

Reconstrucción tridimensional (3D) de la imagen: tomografía electrónica.  

 Análisis químico:  

Espectroscopias de Rayos X (EDX) y de pérdida de Energía de Electrón (EELS). 

Mapas  y  perfiles  de  composición  con  resolución  atómica  en modo  barrido‐transmisión (STEM), composición química con resolución espacial. 

 Análisis de campos:  

Estudio de campo magnético y eléctrico mediante holografía magnética.  Estudio de dominios magnéticos: microscopía Lorentz.  

Estudio de campos tensión /deformación mediante análisis de imágenes de alta resolución.  

 Medidas “in‐situ”:  

Cambios de fase cristalina (difracción de electrones). 

Estructura de defectos por imagen campo claro/oscuro (BF/DF) y haz débil (WBDF). 

 

Especificaciones técnicas

El Titan analítico Low‐base trabaja tanto en modo TEM como STEM a voltajes comprendidos entre  los 60 y  los 300 kV. Al  trabajar a bajo voltaje es especialmente indicado para analizar materiales sensibles al haz de electrones. Está equipado con un cañón  de  emisión  de  campo  de  alto  brillo  XFEG,  un monocromador  y  una  cámara Gatan 2k x 2k para adquisición de imágenes de alta resolución. Las principales técnicas de trabajo son: 

 HRSTEM: La principal aplicación de este microscopio es la obtención de imágenes con resolución atómica en modo STEM. Para ello está equipado con un corrector CESCOR (CEOS Company) que permite  la  formación de una  fina sonda de unos 0,09 nm. Está equipado  con  detectores  de  campo  claro  (BF),  campo  oscuro  (DF)  y  anular  de  alto ángulo (HAADF).  EELS &  EDS:  El  Titan  analítico  tiene un monocromador  y un  filtro de  energía Gatan Tridiem 866 para la obtención de espectros de pérdida de energía de electrón (EELS) e imagen con filtro de energía (EFTEM). La resolución en energía de  los espectros EELS monocromados  es  de  0,14  eV.  Combinado  con  el  modo  STEM  pueden  obtenerse mapas y perfiles de composición química con resolución atómica. Además, el detector EDAX permite hacer espectroscopia de Rayos X (EDS) en modo STEM.  Microscopía Lorentz y Holografía: el Titan Low‐base equipado con una lente Lorentz y un biprisma electrostático para hacer análisis de materiales magnéticos.  

Tomdedicmod

Imá

(a) Z-conshowingRef.: Appdoi:10.1

a) Ball-anin blue. bRef.: J. Phttp://pub

ografía: estcado de Fiso TEM com

ágenes

ntrast imagesg in colors (redpl. Phys. Lett.

1063/1.479374

nd-stick modeb) Cs-correctePhys. Chem. Cbs.acs.org/doi

te microscoschione ((+/mo en modo

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i/abs/10.1021/

pio consta /‐ 70°) para STEM. 

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6 (2013)

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de un módhacer reco

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n portamuemágenes tan

x deformation

in red, and Si3m

estras nto en 

n map

i and Al

 Microscopio Electrónico de Transmisión  

Tecnai F30  

 El  Tecnai  F30  (FEI)  es  un  Microscopio  Electrónico  de Transmisión de  alta    resolución muy  versátil,  capaz de trabajar  en  los  modos  TEM  y  STEM  (barrido  y transmisión) y equipado con todas las técnicas analíticas para  obtener  información  morfológica,  estructural  y composición de la muestra con resolución atómica. 

 Los voltajes de trabajo para este microscopio son 

de 200 y 300 kV.  

Los investigadores de centros públicos o privados así  como  los  profesionales  del  mundo  industrial  que requieran el uso de este equipo dispondrán también, si así  lo  requieren,  del  apoyo  científico  y  técnico  de nuestro  personal  altamente  cualificado  y experimentado.  

 

¿Qué información podemos obtener con este equipo?

Imagen (Resolución 0,19 nm) 

Información sobre morfología y tamaño del material (TEM). 

Estructura cristalina (difracción de electrones y TEM de alta resolución: HRTEM).  

Información  sobre  la  composición  de  la muestra:  imagen  en modo  barrido‐transmisión con detector anular de alto ángulo: STEM‐HAADF; el contraste de la imagen depende directamente del número atómico (contraste‐Z). La imagen filtrada  en  energía  (EFTEM)  proporciona  información  sobre  un  elemento concreto.  

Reconstrucción tridimensional (3D) de la imagen: tomografía electrónica.   Análisis químico 

Espectroscopias de Rayos X (EDX) y de pérdida de Energía de Electrón (EELS).  

Combinado con el modo barrido‐transmisión  (STEM) proporciona  información sobre  la  composición  química  con  resolución  espacial: mapas  y  perfiles  de composición.  

 Análisis de campos  

Estudio de dominios magnéticos: microscopía Lorentz.  

Estudio de campos tensión /deformación mediante análisis de imágenes de alta resolución.  

Medida propiedades físicas in situ 

Cambios de fase cristalina (difracción de electrones)   Estructura de defectos por imagen campo claro/oscuro (BF/DF) y haz débil 

(WBDF).  

Especificaciones técnicas

El  FEI  Tecnai  F30  trabaja  a  200  y  300  kV.  Está  equipado  con  un  cañón  de 

emisión de campo  (FEG) y una  lente objetivo SuperTwin®, que permite obtener una resolución de 0,19 nm. Al tener un módulo de barrido puede trabajar en modo TEM y en modo Barrido‐Transmisión  (STEM). Está equipado con un detector anular de alto ángulo  (HAADF) para hacer  imágenes de  contraste Z. Está además equipado  con un espectrómetro EDAX para hacer microanálisis de Rayos X y un Filtro de Energía Gatan Tridiem para hacer espectroscopia de pérdida de energía de electrón (EELS) e imagen filtrada en energía (EFTEM). Combinado con el modo STEM permite obtener mapas y perfiles de composición química. Para obtener imágenes en modo TEM el microscopio tiene la cámara Gatan Ultrascan CCD 2k x 2k.   

El Tecnai F30 dispone además de una lente Lorentz para el estudio de dominios magnéticos  en  ausencia  de  campo magnético.  Además,  dispone  de  un módulo  de tomografía  y  un  portamuestras  dedicado  de  Fischione  ((+/‐  70°)  para  hacer reconstrucciones 3D de imágenes tanto en modo TEM como en modo STEM. 

Imágenes

Electron tomography reconstruction from a HGNP, a rough surface caused by fast galvanic replacement is shown. Ref.: Lab On Chip 2014, 14, 325-332 doi:10.1039/C3LC50999K

Spatial distribution of the elements of immuno-functionalized core-shell superparamagnetic magnetite nanoparticles. Ref.: ACS Nano. 2013 May 28;7(5):4006-13 doi:10.1021/nn306028t

 Servicio de Preparación de Muestras para el TEM 

 

La  Microscopía  Electrónica de Transmisión (TEM) se basa en el análisis  de  los  electrones transmitidos  a  través  de  una muestra para  formar  imágenes del material. Debido  a  que  el  electrón es  una  partícula  cargada  que interacciona  fuertemente,  las muestras  de  TEM  deben  ser extremadamente  delgadas (decenas  de  nanómetros)  para  ser transparentes  a  los  electrones. Algunos  materiales  son transparentes  a  los  electrones (nanopartículas,  nanotubos,  etc.), pero la mayoría de ellos (materiales 

masivos,  películas  delgadas,  dispositivos,  ...)  tienen  dimensiones  mayores  y frecuentemente  se  requiere  llevar  a  cabo  un  procedimiento  de  preparación  de muestras  para  hacerlas  delgadas.  El  LMA  cuenta  con  un  completo  Laboratorio  de Preparación de Muestras equipado con  los  instrumentos necesarios para realizar esta tarea.   

Entre  los  procedimientos  para  producir  especímenes  transparentes  a  los electrones, el más  importante y más usado se basa en un adelgazamiento mecánico del material de un forma muy controlada. Esto produce un espécimen plano de unas micras  de  grosor  con  una  superficie  sin  defectos  que  se  somete  luego  a  un  pulido iónico de  la superficie, a bajo ángulo y baja energía,  para  conseguir  áreas extremadamente  delgadas  listas  para  la observación por TEM. Cuando es necesario extraer un espécimen de TEM de una región específica de  la muestra  (por ejemplo, una sección  de  un  nanodispositivo)  o  con  una gran  reproducibilidad,  también  se  pueden preparar  secciones  transversales  para  su observación por TEM mediante Focused Ion Beam (FIB) en el Laboratorio de Dual Beam 

Laboratorio dedicado a la preparación de muestras.

Equipo de pulido iónico para obtener áreas transparentes a los electrones para 

observación con TEM.

de la Sala Blanca del LMA.  

La  ultramicrotomía  es  otra  técnica  para  producir  muestras  para  TEM, habitualmente reservada para materiales blandos. El procedimiento consiste en cortar rodajas  de  la  muestra  usando  la  cuchilla  de  diamante  de  un  ultramicrotomo.  Se pueden  realizar  cortes  de  polímeros  y  muestras  biológicas  de  un  grosor  de aproximadamente 50 nm. Las muestras se pueden cortar en un rango de temperatura entre ‐180 ºC y temperatura ambiente dependiendo de las características del material. En  el  caso  de  muestras  biológicas,  se  necesita  un  tratamiento  previo  en  el  que muestras (de tejidos, células, bacterias,...) necesitan ser fijadas (usando glutaraldehído y  tetróxido  de  osmio),  deshidratadas  y  embebidas  en  resina  epoxy  antes  de  ser cortadas con el ultramicrotomo. 

 En  el  LMA  es  posible  vitrificar  muestras  y  analizarlas  en  condiciones 

criogénicas.  En  este  caso,  soluciones  acuosas  como  por  ejemplo  macromoléculas, proteínas,  virus,...  se  pueden  vitrificar  usando  etano  líquido,  y  después  pueden  ser observadas con la técnica de crio‐TEM. 

 

Instrumentos disponibles para la preparación de muestras de TEM  

Adelgazador Iónico Fischione modelo 1010. 

Limpiador por plasma Fischione medelo 1020. 

Pulidoras de baja y alta velocidad. 

Tripodes y grinders. 

Dimpler. 

Sierra de hilo de diamante. 

Microscopio estereográfico. 

Microscopio metalográfico. 

Microscopio invertido. 

Ultramicrotomo Leica EM UC7. 

Crio‐ultramicrotomo Leica EM FC7. 

Vitrobot FEI (vitrificación). 

Materiales que pueden ser preparados para observación con TEM 

Nanopartículas, nanotubos,... 

Materiales inorgánicos (óxidos, metales, cerámicas) en sección transversal y en vista plana). 

Polímeros  

Moléculas orgánicas (proteínas, ADN, geles, virus,...) 

Células y tejidos biológicos 

 Microscopios de barrido de sonda (SPM) a bajas temperaturas (LT) y 

ultra alto vacío (UHV‐LT)  

 

El  laboratorio  que  alberga  los  microscopios  de  sonda  próxima  (SPM)  que trabajan a bajas  temperaturas y ultra alto vacío está específicamente diseñado para microscopia de  superficies y  técnicas espectroscópicas. Pretenden  cubrir una amplia variedad de temas en este campo, desde la química molecular al magnetismo atómico.  

 El  laboratorio  dispone  de  tres  sistemas  que  están  equipados  con  diferentes 

técnicas de preparación de muestras en condiciones de ultra alto vacío, así como con una amplia variedad de  técnicas de crecimiento epitaxial. Las microscopías de sonda basadas  tanto en  fuerzas  (AFM)  como en el efecto  túnel  (STM) pueden  combinarse, permitiendo  investigar  materiales  con  diferentes  propiedades.  El  rango  de temperaturas accesibles en estos instrumentos abarca desde los 0,5 K a los 1.300 K. 

 El  laboratorio  está  integrado  por  tres  instrumentos  SPM‐UHV  que  albergan 

cuatro  cabezas  SPM,  cada  una  de  las  cuales  posee  características  complementarias para abarcar así un amplio rango de fenomenologías: 

1. Joule‐Thompson STM con campo magnético axial y AFM/STM de temperatura variable (internamente apodados microscopios Moncayo y Arán).  

 2. STM de baja temperatura (microscopio Ordesa).  

 3. STM/AFM de baja temperatura (microscopio Ainsa). 

1. STM de ultra alto vacío con campo magnético axial y temperature variable   

        Microscopios Moncayo y Aran        

  Este  microscopio está  específicamente orientado  a  la investigación  del magnetismo  a  escala atómica  y  a  la espectroscopia  de  alta resolución  (0,1  meV)  de átomos  y  moléculas,  así como  al  estudio  de dinámica  de  átomos  y moléculas en función de la temperatura.  

Para  ello,  el  equipo  incluye  en  realidad dos microscopios  SPM  integrados  en condiciones de UHV en un sistema multicámara. Uno de ellos –microscopio Moncayo‐ tiene una temperatura base de 1,1 K (pudiendo alcanzar  incluso  los 0,5 K usando He3 en  lugar de He4 en  la etapa  Joule‐Thompson), un  campo  axial de 3  Tesla  y permite medidas  ininterrumpidas  durante  100  horas.  El  otro  –  microscopio  Arán‐  es  un microscopio de una  temperatura variable  (en el  rango de 100 a 1.300 K), y permite realizar experimentos de un modo rápido y flexible. Además, dispone de dos cámaras independientes  que  permiten  la  preparación  de  muestras  in  situ  y  el  crecimiento epitaxial de películas orgánicas e inorgánicas sobre el sustrato base.  

 

¿Qué tipo de información puede obtenerse con este instrumento?

Obtención de espectros de energía de la densidad de estados y de la estructura cuántica de niveles en la escala atómica. 

Propiedades electrónicas y estructurales de superficies con resolución atómica. 

Estructura de espín y curvas de  imanación de objetos nanométricos cubriendo el rango de entre 100 nm hasta resolución sub‐molecular y sub‐atómica. 

Ingeniería  de  estructuras  funcionales  por manipulación  atómica  (construidas átomo a átomo). 

Monitorización  en  tiempo  real  de  la  actividad  catalítica  en  función  de  la temperatura y los gases reactantes.  

Caracterización  Físico‐Química  de  procesos  de  auto‐ensamblaje  sobre superficies.  

 

Requerimientos de las muestras

Es preferible realizar el crecimiento in‐situ. 

Superficies metálicas, semiconductoras o con recubrimientos aislantes muy 

delgados (típicamente menor de  3 monocapas). 

Rugosidad superficial < 1 nm. 

Tamaño máximo del sustrato o muestra: 3 mm de grosor y 10 mm de anchura. 

Espe

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ia  codificadcolores  ammplo  de  reobre una moresión parcra construir 

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mperatura vn modo no c

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variable (10contacto. SP

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2. STM de baja temperatura de ultra alto vacío UHV  

       Microscopio Ordesa         

Este  equipo  está orientado  a  investigar  los procesos  de  epitaxial molecular  de  tierras  raras (metal  sobre  metal).  En particular,  está  dedicado al crecimiento de películas finas  magnéticas  y nanoestructuras.  

El  microscopio trabaja a una temperatura base  de  4  K  y  ha  sido optimizado  para  la deposición de tierras raras sobre  sustratos  de tungsteno.  

¿Qué tipo de información puede obtenerse con este instrumento?

Espectros de energía de la densidad de estados en la escala atómica. 

Propiedades electrónicas y estructurales de superficies con resolución atómica. 

Manipulación atómica.   

Requerimientos de las muestras

Es preferible realizar el crecimiento in‐situ. 

Superficies metálicas, semiconductoras o con recubrimientos aislantes muy 

delgados (típicamente menor de  3 monocapas). 

Rugosidad superficial < 1 nm. 

Tamaño máximo del sustrato o muestra: 3 mm de grosor y 10 mm de anchura.  

Espe

STM 

(Ord

Prep

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(c

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3. STM/AFM de baja temperatura en ultra alto vacío  

Microscopio Ainsa  

 

Se  trata  de  un  instrumento  de  última generación en AFM de no contacto en ultra alto  vacío.  El  equipo  funciona  a  una temperatura base de 4,5 K, donde el uso de un  sensor  qPlus  permite  adquirir simultáneamente  la señal túnel y de  fuerzas en  el  rango  del  pico‐Newton.  La  medida simultánea  de  fuerzas  y  conductancia  es especialmente interesante en el campo de la física molecular en superficie. La microscopía de fuerzas es particularmente adecuada para trabajar  sobre  superficies  aislantes.  Este instrumento  se  ha  equipado  con  varios métodos  de  deposición  de  materiales orgánicos  e  inorgánicos.  Las  líneas  de investigación  desarrolladas  en  este  equipo están orientadas al estudio de  interacciones moleculares,  estudio  de  sistemas 

autoensamblados, magnetismo, propiedades electrónicas y estructurales de películas híbridas compuesto orgánico‐metal.  

¿Qué tipo de información puede obtenerse con este instrumento?

Obtención  de  espectros  de  energía  de  la  densidad  de  estados  en  la  escala atómica. 

Propiedades electrónicas y estructurales de superficies con resolución atómica. 

Ingeniería  de  estructuras  funcionales  por manipulación  atómica  (construidas átomo a átomo). 

Caracterización  estructural  de  complejos  macromoleculares  con  resolución atómica. 

Obtención  de mapas  de  la  carga  electrónica  (potencial  superficial)  hasta  la escala sub‐molecular. 

Específicamente  diseñado  para  la  preparación  y  caracterización  de  redes organometálicas. 

 

Requerimientos de las muestras

Es preferible reproducir el crecimiento in‐situ. 

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 Laboratorio de Microscopia de Sonda Local en altos campos 

magnéticos y bajas temperaturas    

Este  laboratorio  ofrece  la  posibilidad  de  combinar medidas  a muy  bajas  temperaturas  y  la  aplicación  de  altos campos magnéticos.  

 El microscopio SPM para trabajar con campos magnéticos 

y  bajas  temperaturas  está  especialmente  diseñado  para  la combinación  de  medidas  de  magneto‐transporte  con medidas de microscopia de sonda local, como por ejemplo la “Scanning  Gate Microscopy”  que  permite  la medida  de  las propiedades  eléctricas  de  nanosistemas modificándolas  con la punta de medida. 

 Así, en este sistema se están llevando actualmente a cabo 

proyectos orientados al estudio, en bajas  temperaturas, del magnetismo,  el  transporte  eléctrico  en  nanodispositivos,  la 

espintrónica y la superconductividad.   

  Está  compuesto  por  un  gran  criostato  de  helio  que  alberga  una  bobina superconductora  capaz  de  aplicar  campos magnéticos  de  hasta  8  T  (un  eje)  /  2  T (vectorial 2D) y un controlador de temperatura (2 K ‐ 300 K).     El sistema dispone de un sistema para el cambio rápido de muestra. También está equipado  con  dos  tipos  de  piezos  con  el  fin  de  conseguir  el mejor  rendimiento  en resolución y estabilidad, además incluye un amplificador de voltaje de bajo ruido para obtener la mejor relación señal/ruido posible. 

¿Qué tipo de información puede obtenerse con este instrumento?

  Estas  características  permiten  realizar muchas  de  las  técnicas  relacionadas  con STM/AFM:  

Morfología de la superficie. Topografía con una resolución por debajo de 1 nm. 

Medidas eléctricas (c‐AFM). Determinación de  la Resistencia eléctrica  local en la muestra. 

Potencial eléctrico local (KPM). Medidas cualitativas de la distribución local de carga.  

Propiedades magnéticas  (MFM). Análisis de  las propiedades magnéticas de  la muestra bajo la acción de un campo magnético.  

Propiedades  piezo‐eléctricas  (PFM).  Usando  la  punta  de  medida  como electrodo y sensor de la deformación. 

Estudios  a  distintas  temperaturas.  Puede  analizarse  la muestra  en  el  rango comprendido entre los 2 y los 500 K.  

Requerimientos de la muestra

La muestra debe estar inmovilizada sobre una superficie plana.  

La  rugosidad  de  la  muestra  ha  de  ser  inferior  al  rango  del  escáner piezoeléctrico. 

El  tamaño  total  de  la  muestra  debe  ser  compatible  con  el  espacio  en  el microscopio entorno a 1cm2 y 0.5 cm de altura. 

Las  muestras  deben  ser  compatibles  con  condiciones  de  vacío  y  baja temperatura. 

Especificaciones técnicas

Cabeza AFM/MFM con sensor interferométrico. 

Cabeza  STM/Tunning  Fork.  Amplificador  Femto  de  ganancia  variable  y  bajo ruido. 

Criostato con “insert” de temperatura variable (2 K ‐ 300 K). 

Bobina superconductora de 8 T (vertical) y 2 T (en el plano) que, combinada con una plataforma giratoria “closed‐loop”, permite la aplicación del campo en tres dimensiones. 

Portamuestras compatible con  los sistemas de “dual‐beam” y de Depósito por Laser Pulsado (PLD). 

Imágenes

Topografía y señal 

magnética de un nanohilo 

de Permalloy

Topografía y mapa de la 

respuesta piezoelectrica de 

una capa fina de un piezo‐

eléctrico

1000nm 1000nm

 

  

Microscopía de sonda local (SPM) en condiciones ambientales   

  Las microscopías de sonda 

local  son  técnicas  de fundamental  relevancia  en Nanociencia  y 

Nanotecnología, proporcionando  valiosa información  en  numerosas áreas  de  investigación  de naturaleza multidisciplinar.  

 El  LMA  dispone  de  un 

laboratorio  con  plataformas anti‐vibratorias  donde  se 

ubican  estos  microscopios.  Además,  contamos  con  personal  técnico  altamente especializado  que  da  soporte  a  usuarios  externos,  forma  y  complementa  las actividades  de  usuarios  avanzados  y  se  ocupa  del mantenimiento  y  cuidado  de  los equipos.   

El  LMA  cuenta  con  dos  microscopios  SPM  ambientales  que  proporcionan servicio interno y externo:   

1. Cervantes  Fullmode  SPM  de  Nanotec  Electrónica.  AFM  (Microscopía  de Fuerzas  Atómicas)  /  MFM  (Microscopía  de  Fuerzas  Magnéticas)  /  STM (Microscopia de Efecto Túnel) equipado con campo magnético variable y una celda para muestras  líquidas. El modo  “jumping” es especialmente adecuado para medidas de muestras blandas en medio líquido.  

2. MultiMode 8 de Bruker. Se  trata de un microscopio de sonda  local equipado con  KPM  (Kelvin  Probe  Microscopy),  c‐AFM  (AFM  conductivo),  celda  para líquidos y para estudios electroquímicos, módulo PicoForce para espectroscopia de  fuerzas, controlador de temperatura, cabeza con modo de torsión y modo QNM Peak Force para  la obtención de mapas cuantitativos de  las propiedades nanomecánicas de las muestras. 

¿Qué tipo de información puede obtenerse con estos instrumentos?                          

  Gracias a estos microscopios puede obtenerse la siguiente información:  

● Morfología de la superficie. Topografía con resolución sub‐nanométrica. ● Medidas eléctricas (c‐AFM). Determinación de la Resistencia eléctrica local. 

● Propiedades  Mecánicas  (QNM  Peakforce).  Mapas  cuantitativos  sobre  las propiedades  de  elasticidad,  adhesión,  dureza,  disipación  de  energía  y deformación superficial.  

● Potencial eléctrico local (KPM). Medidas cualitativas de la distribución local de carga.  

● Propiedades magnéticas  (MFM). Análisis de  las propiedades magnéticas de  la muestra bajo la acción de un campo magnético.  

● Espectroscopia  de  fuerzas  para medida  de  fuerzas  inter  e  intra‐moleculares, con una resolución de 1 pN. 

● Propiedades electroquímicas (EC‐SPM). Estudio de reacciones electroquímicas en superficie bajo condiciones controladas.  

● Propiedades  piezo‐eléctricas  (PFM)  Usando  la  punta  de  medida  como electrodo de voltaje eléctrico y sensor de la deformación. 

● Estudios a distintas  temperaturas. Puede analizarse el comportamiento de  la muestra entre los 250 y los 500 K.  

● Topografía  basada  en  el  microscopio  de  efecto  túnel  en  condiciones ambientales.  

Requerimientos de la muestra 

‐ La muestra debe estar  inmovilizada sobre una superficie plana. Por ejemplo, las biomoléculas han de inmovilizarse  mediante adsorción o vía covalente.  

‐  La  rugosidad  de  la  muestra  ha  de  ser  inferior  al  rango  del  escáner piezoeléctrico.  

‐  El  tamaño  total  de  la muestra  debe  ser  compatible  con  el  espacio  en  el microscopio entorno a 1 cm2 en superficie y 0,5 cm de grosor.  

Los  tipos  de  muestras  que  pueden  ser  estudiados  con  los  microscopios  SPM ambientales incluyen:  

● Muestras  biológicas  (ADN,  proteínas  y  péptidos;  células,  virus  y  bacterias; tejidos biológicos, etc.). 

● Películas delgadas. ● Nanoestructuras. ● Nanopartículas. ● Geles y Polímeros. 

 

   

Especificaciones Técnicas 

  Bruker MultiMode 8  Nanotec Cervantes 

Ambiente Aire, líquido y electroquímica 

Aire y líquido 

Rango temperatura  [‐35 hasta 200]˚C  Ambiente 

Rango piezos 200 µm x 200 µm x 5 µm 12 µm x 12 µm x 3 µm 

10 µm x 10 µm x 3.5 µm 

Campo magnético  No Fuera del plano, pulsado (1s max.) 

En el plano continuo. 

 

Imágenes 

 

 

 

A.‐ Topografía y señal magnética de 

una  nanoestructura  fabricada 

mediante  focus  ion  beam.  B.‐ 

Topografía  y  mapa  de  conducción 

eléctrica  de  nanocontactos 

producidos  mediante  litografía 

electrónica.  C.‐  Topografía  de 

láminas  de  grafeno  depositadas  en 

mica.  D.‐  Señal  PFM  de  una  capa 

delgada  de  material  piezoeléctrico. 

E.‐  Topografía  y  mapa  del 

coeficiente  de  elasticidad  de  un 

polímero.  F.‐ Topografía en  tampón 

de  una  molécula  de  FAD  sintetasa 

donde  se  distinguen  los  dominios, 

cuyas  estructuras  se  han 

superpuesto en la imagen, de las dos 

actividades  enzimáticas  (Área  50 

nm; Z 9.2 nm).