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MEMS-ONEMEMS

6-2-5

MEMS-ONE

p. 36-39

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MEMS-ONE

MEMS

MEMS MEMS

p. 36-39

MEMS-ONE

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p. v-4

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MEMS-ONE

p. v-10

MEMS-ONE

1

2

3

1

2

3

4

1-1

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1-3

1

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1

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p. v-2

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MEMS-ONE

p. v-13,v-14

MEMS

MEMS-ONE

p. v-8

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MEMS-ONE

p. v-12, v-13

MEMS-ONE

A B CAA BB CCA B CAA

MEMS

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DRIE RIE

DRIE••••

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RIE•••

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p. v-24

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MEMS-ONE

p. v-27

MEMS-ONE

(DRIE)(DRIE)

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•

•

p. v-33

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MEMS-ONE

0.6 m39kHz

p. v-37

MEMS-ONE

S-N 23 50/25 RH

•

••

p. v-39

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MEMS-ONE

COP

p. v-42, v-52

(GPa) (MPa) (ppm/ )PMMA 5.1-5.3

5.8-6.6Ni 40-110 9-11 (40-120 )

A 200-220Ni 140-230 8-10 (40-120 )

B 150-190SOG 6.4-7.8

2.9-3.13.2-3.5 RT-500

Si 181-1822.9-4.0 (RT-1000 )

MEMS-ONE

MemsONEMemsONE

p. v-51

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MEMS-ONE

MEMS

p.75-78

MEMS-ONE

p.90,91


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