7/23/2019 Amplificadore Estrutura Compatible Con El Desplazamiento Multiplicador de Aparatos Para Sistemas MEMS

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una estructura elstica pivotless que se describe que se puede utilizar para

aumentar la ventaja geomtrica o ventaja mecnica de una (MEM), accionador

tal como un accionador electrosttico peine, un Actuador capacitiva-placa

electrosttica o un actuador trmico.

la estructura elstica, sobre la base de una combinacin de vigas

interconectadas !e"ibles #ormadas de una o ms capas de nitruro de silicio opolisilicio, puede proporcionar una ventaja geomtrica de apro"imadamente

$%& a apro"imadamente '%& para multiplicar un desplazamiento .$-* mm

proporcionada por un actuador de carrera corta de manera que tal actuador

puede utilizarse para generar una carrera de desplazamiento de alrededor de

&-*+ mm para operar un dispositivo MEM trinquete accionado o un

micromotor.

la estructura elstica tiene menos juego que convencional desplazamiento se

multiplica

dispositivo basado en brazos de palanca articulaciones pivotantes, se

espera que sea ms able que dico dispositivo.

la estructura elstica un accionador asociado electrosttica o trmica puede

ser #ormada sobre un sustrato com/n, mediante micromecanizado de

supercie